{"id":1989,"date":"2025-12-19T08:58:19","date_gmt":"2025-12-19T08:58:19","guid":{"rendered":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/?p=1989"},"modified":"2025-12-19T08:58:19","modified_gmt":"2025-12-19T08:58:19","slug":"%da%a9%d8%a7%d9%87%d8%b4-%da%af%d8%a7%d8%b2%d9%87%d8%a7%db%8c-%d8%ae%d8%b1%d9%88%d8%ac%db%8c-%d9%81%d9%88%d8%aa%d9%88%d9%84%db%8c%d8%aa%d9%88%da%af%d8%b1%d8%a7%d9%81%db%8c-%d8%af%d8%b1-%d9%86%db%8c","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/%da%a9%d8%a7%d8%b1%d8%a8%d8%b1%d8%af\/%da%a9%d8%a7%d9%87%d8%b4-%da%af%d8%a7%d8%b2%d9%87%d8%a7%db%8c-%d8%ae%d8%b1%d9%88%d8%ac%db%8c-%d9%81%d9%88%d8%aa%d9%88%d9%84%db%8c%d8%aa%d9%88%da%af%d8%b1%d8%a7%d9%81%db%8c-%d8%af%d8%b1-%d9%86%db%8c\/","title":{"rendered":"\u06a9\u0627\u0647\u0634 \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u062e\u0631\u0648\u062c\u06cc \u062f\u0631 \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0631\u0633\u0627\u0646\u0627\u0647\u0627 \u0628\u0627 \u0631\u0648\u0634 \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0646\u0648\u0631\u06cc: \u0627\u06cc\u062c\u0627\u062f \u062a\u0639\u0627\u062f\u0644 \u0628\u06cc\u0646 \u0627\u0646\u0637\u0628\u0627\u0642 \u0648 \u0628\u0627\u0632\u062f\u0647 \u0648\u06cc\u0641\u0631"},"content":{"rendered":"

\u0628\u0627 \u0648\u0631\u0648\u062f \u0635\u0646\u0639\u062a \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc \u0628\u0647 \u00ab\u0639\u0635\u0631 \u0622\u0646\u06af\u0633\u062a\u0631\u0648\u0645\u00bb \u06af\u0631\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u06f3 \u0648 \u06f2 \u0646\u0627\u0646\u0648\u0645\u062a\u0631\u06cc\u060c \u0647\u0631 \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645 \u067e\u0634\u062a\u06cc\u0628\u0627\u0646\u06cc \u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a \u0628\u0627 \u0686\u0627\u0644\u0634\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0628\u06cc\u200c\u0633\u0627\u0628\u0642\u0647\u200c\u0627\u06cc \u0631\u0648\u0628\u0631\u0648 \u0627\u0633\u062a. \u0645\u0627\u0698\u0648\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0641\u062a\u0648\u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0648 \u062a\u0648\u0633\u0639\u0647 \u062f\u0631 \u062e\u0637 \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f (FEOL) \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u0647\u200c\u0628\u0631\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0648 \u062d\u0633\u0627\u0633\u200c\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0628\u062e\u0634\u200c\u0647\u0627\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647 \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f.<\/p>\n

\u062f\u0631 \u0627\u06cc\u0646 \u0645\u062d\u06cc\u0637 \u067e\u0631\u0645\u062e\u0627\u0637\u0631\u0647\u060c \u0645\u062f\u06cc\u0631\u06cc\u062a \u062a\u0631\u06a9\u06cc\u0628\u0627\u062a \u0622\u0644\u06cc \u0641\u0631\u0627\u0631 (VOCs) \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u067e\u06cc\u200c\u062c\u06cc\u200c\u0627\u0645\u200c\u0627\u06cc\u200c\u0627\u06cc<\/strong> \u0648 \u0627\u0686\u200c\u0627\u0645\u200c\u062f\u06cc\u200c\u0627\u0633<\/strong> \u0686\u06cc\u0632\u06cc \u0628\u06cc\u0634 \u0627\u0632 \u06cc\u06a9 \u0627\u0644\u0632\u0627\u0645 \u0632\u06cc\u0633\u062a\u200c\u0645\u062d\u06cc\u0637\u06cc \u0627\u0633\u062a. \u0627\u06af\u0631 \u06cc\u06a9 \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645 \u0627\u06a9\u0633\u06cc\u062f\u06a9\u0646\u0646\u062f\u0647 \u062d\u0631\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0627\u062d\u06cc\u0627\u06a9\u0646\u0646\u062f\u0647 (RTO) \u062d\u062a\u06cc \u0645\u0642\u062f\u0627\u0631 \u06a9\u0645\u06cc \u06af\u0627\u0632 \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f \u06a9\u0646\u062f \u0646\u0648\u0633\u0627\u0646\u0627\u062a \u0641\u0634\u0627\u0631<\/strong> \u06cc\u0627 \u0627\u0631\u062a\u0639\u0627\u0634\u0627\u062a<\/strong>\u060c \u0645\u06cc\u200c\u062a\u0648\u0627\u0646\u062f \u0628\u0627\u0639\u062b \u0639\u062f\u0645 \u0641\u0648\u06a9\u0648\u0633 \u062f\u0631 \u0627\u0633\u06a9\u0646\u0631 \u0634\u0648\u062f \u0648 \u0645\u0646\u062c\u0631 \u0628\u0647 \u0627\u0632 \u062f\u0633\u062a \u0631\u0641\u062a\u0646 \u0641\u0627\u062c\u0639\u0647\u200c\u0628\u0627\u0631 \u0628\u0627\u0632\u062f\u0647 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u06a9\u0644 \u062f\u0633\u062a\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0634\u0648\u062f. \u0686\u06af\u0648\u0646\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u062a\u0648\u0627\u0646\u06cc\u0645 \u0636\u0645\u0646 \u0631\u0639\u0627\u06cc\u062a \u0627\u0633\u062a\u0627\u0646\u062f\u0627\u0631\u062f\u0647\u0627\u06cc \u062c\u0647\u0627\u0646\u06cc ESG\u060c \u0628\u0647 \u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 \u00ab\u062a\u062f\u0627\u062e\u0644 \u0635\u0641\u0631\u00bb \u062f\u0633\u062a \u06cc\u0627\u0628\u06cc\u0645\u061f<\/p>\n

\"\u0635\u0646\u0639\u062a<\/h2>\n

\u0686\u0627\u0644\u0634\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0627\u0635\u0644\u06cc: \u0686\u0631\u0627 RTO \u0647\u0627\u06cc \u0645\u0631\u0633\u0648\u0645 \u0628\u0627 \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0634\u06a9\u0644 \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f (\u067e\u0631\u0633\u0634 \u0648 \u067e\u0627\u0633\u062e)<\/h2>\n

\u06f1. \u00ab\u067e\u0627\u0644\u0633 \u0641\u0634\u0627\u0631\u00bb \u0646\u0627\u0634\u06cc \u0627\u0632 RTO \u0686\u06cc\u0633\u062a\u061f<\/h3>\n

\u062f\u0633\u062a\u06af\u0627\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc RTO \u0633\u0646\u062a\u06cc \u062f\u0648 \u0628\u0631\u062c\u06cc \u06cc\u0627 \u0633\u0647 \u0628\u0631\u062c\u06cc \u0627\u0632 \u0634\u06cc\u0631\u0647\u0627\u06cc \u067e\u0646\u0648\u0645\u0627\u062a\u06cc\u06a9\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0633\u0648\u0626\u06cc\u0686\u06cc\u0646\u06af \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. \u062f\u0631 \u0644\u062d\u0638\u0647 \u0633\u0648\u0626\u06cc\u0686\u06cc\u0646\u06af\u060c \u06cc\u06a9 \u0627\u0641\u0632\u0627\u06cc\u0634 \u0641\u0634\u0627\u0631 \u0644\u062d\u0638\u0647\u200c\u0627\u06cc (\u0645\u0639\u0645\u0648\u0644\u0627\u064b \u0628\u06cc\u0646 \u00b150 Pa \u0648 \u00b1200 Pa) \u062f\u0631 \u0645\u062c\u0631\u0627\u06cc \u0627\u06af\u0632\u0648\u0632 \u0631\u062e \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u062f. \u0628\u0631\u0627\u06cc \u06cc\u06a9 \u0627\u0633\u06a9\u0646\u0631 \u062f\u0642\u06cc\u0642\u060c \u0627\u06cc\u0646 \u067e\u0627\u0644\u0633 \u062a\u0639\u0627\u062f\u0644 \u0645\u06cc\u06a9\u0631\u0648\u0645\u062d\u06cc\u0637\u06cc \u062f\u0631\u0648\u0646 \u0645\u0633\u06cc\u0631 (\u067e\u0648\u0634\u0634\u200c\u062f\u0647\u0646\u062f\u0647\/\u0638\u0627\u0647\u0631\u06a9\u0646\u0646\u062f\u0647) \u0631\u0627 \u0645\u062e\u062a\u0644 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u0648 \u0628\u0627\u0639\u062b \u0627\u06cc\u062c\u0627\u062f \u0622\u0644\u0627\u0631\u0645\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0642\u0641\u0644 \u062f\u0627\u062e\u0644\u06cc \u0648 \u0627\u0632 \u06a9\u0627\u0631 \u0627\u0641\u062a\u0627\u062f\u06af\u06cc \u062f\u0633\u062a\u06af\u0627\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u0634\u0648\u062f.<\/p>\n

\u06f2. \u0686\u0631\u0627 \u06cc\u06a9 RTO \u0631\u0648\u062a\u0627\u0631\u06cc \u0627\u0646\u062a\u062e\u0627\u0628 \u0627\u0631\u062c\u062d \u0628\u0631\u0627\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f \u0645\u0648\u0627\u062f \u063a\u0630\u0627\u06cc\u06cc \u0627\u0633\u062a\u061f<\/h3>\n

RTO \u0647\u0627\u06cc \u0686\u0631\u062e\u0634\u06cc<\/strong> \u0628\u0647 \u062c\u0627\u06cc \u0634\u06cc\u0631\u0647\u0627\u06cc \u067e\u0648\u067e\u062a \u0631\u0641\u062a \u0648 \u0628\u0631\u06af\u0634\u062a\u06cc\u060c \u0627\u0632 \u06cc\u06a9 \u0634\u06cc\u0631 \u062a\u0648\u0632\u06cc\u0639 \u067e\u06cc\u0648\u0633\u062a\u0647 \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u06a9\u0646\u06cc\u062f. \u0627\u06cc\u0646 \u06a9\u0627\u0631 \u062c\u0631\u06cc\u0627\u0646 \u0647\u0648\u0627\u06cc \u0628\u0633\u06cc\u0627\u0631 \u0631\u0648\u0627\u0646 \u0648 \u067e\u06cc\u0648\u0633\u062a\u0647\u200c\u0627\u06cc \u0631\u0627 \u0641\u0631\u0627\u0647\u0645 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u0648 \u067e\u0627\u0644\u0633\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0641\u0634\u0627\u0631 \u0631\u0627 \u0627\u0632 \u0628\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u0628\u0631\u062f. \u0627\u06cc\u0646 \u0627\u0645\u0631 \u062a\u0636\u0645\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u06a9\u0647 \u0646\u0648\u0633\u0627\u0646\u0627\u062a \u0641\u0634\u0627\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0627\u062a\u06cc\u06a9 \u062f\u0631 \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645 \u0627\u06af\u0632\u0648\u0632 \u062f\u0631 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f\u0647 \u0645\u062c\u0627\u0632 \u0628\u0627\u0642\u06cc \u0628\u0645\u0627\u0646\u062f. \u00b110 \u067e\u0627\u0633\u06a9\u0627\u0644<\/strong>\u060c \u062f\u0633\u062a\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u0628\u0647 \u062d\u0642\u06cc\u0642\u062a \u0632\u06cc\u0631\u0648-\u067e\u0627\u0644\u0633\u2122<\/strong> \u0639\u0645\u0644\u06a9\u0631\u062f.<\/p>\n

\u06f3. \u0686\u06af\u0648\u0646\u0647 \u0627\u0632 \u00ab\u0622\u0644\u0648\u062f\u06af\u06cc \u062b\u0627\u0646\u0648\u06cc\u0647\u00bb \u062f\u0631 \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u062e\u0631\u0648\u062c\u06cc \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc \u062c\u0644\u0648\u06af\u06cc\u0631\u06cc \u06a9\u0646\u06cc\u0645\u061f<\/h3>\n

\u062e\u0631\u0648\u062c\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u063a\u0644\u0628 \u062d\u0627\u0648\u06cc \u0633\u06cc\u0644\u0648\u06a9\u0633\u0627\u0646\u200c\u0647\u0627 (\u062d\u0627\u0635\u0644 \u0627\u0632 \u062a\u062c\u0632\u06cc\u0647 HMDS) \u0627\u0633\u062a \u06a9\u0647 \u0628\u0647 \u0635\u0648\u0631\u062a \u062c\u0627\u0645\u062f \u062f\u0631 \u0645\u06cc\u200c\u0622\u06cc\u0646\u062f. \u062f\u06cc \u0627\u06a9\u0633\u06cc\u062f \u0633\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 (<\/strong>$SiO_2$)<\/strong> \u06af\u0631\u062f \u0648 \u063a\u0628\u0627\u0631 \u062f\u0627\u062e\u0644 RTO. \u0628\u062f\u0648\u0646 \u0641\u06cc\u0644\u062a\u0631\u0627\u0633\u06cc\u0648\u0646 \u0648 \u06a9\u0646\u062a\u0631\u0644 \u062c\u0631\u06cc\u0627\u0646 \u0645\u0646\u0627\u0633\u0628\u060c \u0627\u06cc\u0646 \u06af\u0631\u062f \u0648 \u063a\u0628\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u200c\u062a\u0648\u0627\u0646\u062f \u062f\u0648\u0628\u0627\u0631\u0647 \u0628\u0647 \u062f\u0627\u062e\u0644 \u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a \u0628\u0631\u06af\u0631\u062f\u062f \u06cc\u0627 \u0627\u0632 \u062f\u0648\u062f\u06a9\u0634 \u062e\u0627\u0631\u062c \u0634\u0648\u062f \u0648 \u0631\u062a\u0628\u0647\u200c\u0628\u0646\u062f\u06cc \u06a9\u0644\u0627\u0633 \u0627\u062a\u0627\u0642 \u062a\u0645\u06cc\u0632 \u0631\u0627 \u0628\u0647 \u062e\u0637\u0631 \u0628\u06cc\u0646\u062f\u0627\u0632\u062f.<\/p>\n

\"\u0622\u0631<\/h2>\n

\u00a0\u0645\u0634\u062e\u0635\u0627\u062a \u0641\u0646\u06cc: \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u0645\u0628\u062a\u0646\u06cc \u0628\u0631 \u0628\u0627\u0632\u062f\u0647<\/h2>\n

\u0628\u0631\u0627\u06cc \u0641\u0631\u0622\u06cc\u0646\u062f\u0647\u0627\u06cc \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc FEOL\u060c \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631\u0647\u0627\u06cc \u0639\u0645\u0644\u06a9\u0631\u062f RTO \u0627\u0632 \u00ab\u0631\u0627\u0646\u062f\u0645\u0627\u0646 \u062a\u062e\u0631\u06cc\u0628\u00bb \u0628\u0647 \u00ab\u067e\u0627\u0631\u0627\u0645\u062a\u0631\u0647\u0627\u06cc \u067e\u0627\u06cc\u062f\u0627\u0631\u06cc\u00bb \u062a\u063a\u06cc\u06cc\u0631 \u06cc\u0627\u0641\u062a\u0647 \u0627\u0633\u062a:<\/p>\n

\u062c\u062f\u0648\u0644 \u067e\u0627\u0631\u0627\u0645\u062a\u0631\u0647\u0627\u06cc \u0641\u0646\u06cc \u06a9\u0644\u06cc\u062f\u06cc<\/h3>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u0641\u0646\u06cc<\/th>\n\u0645\u062d\u062f\u0648\u062f\u0647 \u067e\u0627\u0631\u0627\u0645\u062a\u0631<\/th>\n\u062a\u0623\u062b\u06cc\u0631 \u0628\u0631 \u0628\u0627\u0632\u062f\u0647 \u0648\u06cc\u0641\u0631<\/th>\n\u0645\u0631\u062c\u0639 \u0635\u0646\u0639\u062a<\/th>\n<\/tr>\n
\u0646\u0648\u0633\u0627\u0646 \u0641\u0634\u0627\u0631<\/strong><\/td>\n\u2264 \u00b110 \u067e\u0627\u0633\u06a9\u0627\u0644<\/strong><\/td>\n\u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u0627\u0635\u0644\u06cc\u061b \u0627\u0632 \u0628\u06cc\u200c\u062b\u0628\u0627\u062a\u06cc \u0645\u062d\u06cc\u0637\u06cc \u0627\u0633\u06a9\u0646\u0631 \u062c\u0644\u0648\u06af\u06cc\u0631\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f.<\/td>\n\u0646\u06cc\u0645\u0647 \u0627\u0633\u062a\u0627\u0646\u062f\u0627\u0631\u062f F15<\/td>\n<\/tr>\n
\u0633\u0637\u062d \u0627\u0631\u062a\u0639\u0627\u0634 (VC)<\/strong><\/td>\nVC-A \/ VC-B<\/td>\n\u0627\u0632 \u062a\u0634\u062f\u06cc\u062f \u0645\u06a9\u0627\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u062f\u0631 \u0627\u062c\u0632\u0627\u06cc \u0646\u0648\u0631\u06cc \u062c\u0644\u0648\u06af\u06cc\u0631\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f.<\/td>\n\u0628\u06cc\u0645\u0627\u0631\u06cc\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0639\u0641\u0648\u0646\u06cc \u0627\u062a\u0627\u0642 \u062a\u0645\u06cc\u0632 IEST<\/td>\n<\/tr>\n
\u062a\u062e\u0631\u06cc\u0628 \u062a\u0631\u06a9\u06cc\u0628\u0627\u062a \u0622\u0644\u06cc \u0641\u0631\u0627\u0631 (VOC) (DRE)<\/strong><\/td>\n\u2265 \u06f9\u06f9.\u06f5\u06f1TP3T<\/strong><\/td>\n\u062a\u0636\u0645\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u06a9\u0647 \u0645\u06cc\u0632\u0627\u0646 \u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 PGMEA\/\u062d\u0644\u0627\u0644 \u0627\u0632 \u0645\u0642\u0631\u0631\u0627\u062a \u062c\u0647\u0627\u0646\u06cc \u0641\u0631\u0627\u062a\u0631 \u0631\u0648\u062f.<\/td>\n\u0642\u0648\u0627\u0646\u06cc\u0646 \u0632\u06cc\u0633\u062a\u200c\u0645\u062d\u06cc\u0637\u06cc<\/td>\n<\/tr>\n
\u0631\u0627\u0646\u062f\u0645\u0627\u0646 \u062d\u0631\u0627\u0631\u062a\u06cc (TER)<\/strong><\/td>\n95% – 97%<\/td>\n\u0647\u0632\u06cc\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0639\u0645\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u06af\u06cc\u06af\u0627-\u0641\u0627\u0628\u200c\u0647\u0627 \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u062f\u061b \u0628\u0627 \u0627\u0647\u062f\u0627\u0641 ESG \u0647\u0645\u0633\u0648 \u0627\u0633\u062a.<\/td>\n\u0628\u06cc\u0645\u0627\u0631\u06cc\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0645\u0642\u0627\u0631\u0628\u062a\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647 \u0633\u0628\u0632<\/td>\n<\/tr>\n
\u063a\u0644\u0638\u062a \u0630\u0631\u0627\u062a \u0645\u0639\u0644\u0642<\/strong><\/td>\n\u06a9\u0645\u062a\u0631 \u0627\u0632 \u06f1 \u0645\u06cc\u0644\u06cc\u200c\u06af\u0631\u0645 \u0628\u0631 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628<\/td>\n\u0627\u0632 \u0622\u0644\u0648\u062f\u06af\u06cc \u062b\u0627\u0646\u0648\u06cc\u0647 \u06af\u0631\u062f \u0648 \u063a\u0628\u0627\u0631 \u062f\u0631 \u0627\u062a\u0627\u0642\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062a\u0645\u06cc\u0632 \u062c\u0644\u0648\u06af\u06cc\u0631\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f.<\/td>\n\u06a9\u0644\u0627\u0633 \u0627\u06cc\u0632\u0648 \u06f1-\u06f5<\/td>\n<\/tr>\n
\u0632\u0645\u0627\u0646 \u0633\u0648\u0626\u06cc\u0686 \u0634\u06cc\u0631<\/strong><\/td>\n\u0686\u0631\u062e\u0634 \u0645\u062f\u0627\u0648\u0645<\/td>\n\u0627\u062b\u0631 \u00ab\u0636\u0631\u0628\u0647 \u0622\u0628\u00bb \u0631\u0627 \u062f\u0631 \u062c\u0631\u06cc\u0627\u0646 \u0647\u0648\u0627 \u0627\u0632 \u0628\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u0628\u0631\u062f.<\/td>\n\u062f\u06cc\u0646\u0627\u0645\u06cc\u06a9 \u0633\u06cc\u0627\u0644\u0627\u062a \u06a9\u0627\u0644\u06a9<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n

\u0628\u0631\u0631\u0633\u06cc \u0639\u0645\u06cc\u0642 \u0641\u0646\u06cc:<\/h3>\n
    \n
  • \u0645\u0647\u0646\u062f\u0633\u06cc \u0634\u06cc\u0631\u0647\u0627\u06cc \u062f\u0648\u0627\u0631<\/strong>: Rotary RTO \u0627\u0632 \u06cc\u06a9 \u0634\u06cc\u0631 \u062a\u0648\u0632\u06cc\u0639 \u062f\u0642\u06cc\u0642 \u0648 \u0645\u0627\u0634\u06cc\u0646\u06a9\u0627\u0631\u06cc \u0634\u062f\u0647 \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f. \u0627\u06cc\u0646 \u0627\u0645\u0631 \u062e\u0644\u0627\u0621 \"\u0632\u0645\u0627\u0646 \u0645\u0631\u062f\u0647\" \u0627\u06cc\u062c\u0627\u062f \u0634\u062f\u0647 \u062f\u0631 \u0647\u0646\u06af\u0627\u0645 \u062a\u0639\u0648\u06cc\u0636 \u0628\u0631\u062c \u062f\u0631 \u0648\u0627\u062d\u062f\u0647\u0627\u06cc \u0633\u0628\u06a9 \u067e\u0627\u067e\u062a \u0631\u0627 \u0627\u0632 \u0628\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u0628\u0631\u062f \u0648 \u0627\u0632 \u0646\u0642\u0627\u0637 \u062a\u0646\u0638\u06cc\u0645 \u0641\u0634\u0627\u0631 \u062d\u0633\u0627\u0633 \u0627\u0633\u06a9\u0646\u0631 \u0645\u062d\u0627\u0641\u0638\u062a \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f.<\/li>\n
  • \u0637\u0631\u0627\u062d\u06cc \u06a9\u0645 \u0644\u0631\u0632\u0634<\/strong>\u0627\u0632 \u0622\u0646\u062c\u0627 \u06a9\u0647 \u0647\u06cc\u0686 \u0633\u0648\u067e\u0627\u067e \u0633\u0646\u06af\u06cc\u0646\u06cc \u0648\u062c\u0648\u062f \u0646\u062f\u0627\u0631\u062f \u06a9\u0647 \u0628\u0647 \u0635\u0646\u062f\u0644\u06cc\u200c\u0647\u0627 \u0628\u0631\u062e\u0648\u0631\u062f \u06a9\u0646\u062f\u060c \u0644\u0631\u0632\u0634 \u0645\u06a9\u0627\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0639\u0645\u0644\u0627\u064b \u0627\u0632 \u0628\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u0631\u0648\u062f - \u06cc\u06a9 \u0639\u0627\u0645\u0644 \u062d\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062a\u062c\u0647\u06cc\u0632\u0627\u062a\u06cc \u06a9\u0647 \u062f\u0631 \u0646\u0632\u062f\u06cc\u06a9\u06cc \"Cleanroom Litho-Bay\" \u062d\u0633\u0627\u0633 \u0628\u0647 \u0644\u0631\u0632\u0634 \u0642\u0631\u0627\u0631 \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f.<\/li>\n<\/ul>\n

    \u0633\u0646\u0627\u0631\u06cc\u0648\u0647\u0627\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u0628\u0631\u062f\u06cc: \u0646\u0642\u0627\u0637 \u0642\u0648\u062a \u0648 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f\u06cc\u062a\u200c\u0647\u0627<\/h2>\n

    \u062a\u062d\u0644\u06cc\u0644 \u0633\u0646\u0627\u0631\u06cc\u0648: \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0648 \u0645\u0633\u06cc\u0631 (\u062d\u062c\u0645 \u0628\u0627\u0644\u0627\u060c \u067e\u0627\u06cc\u062f\u0627\u0631\u06cc \u0628\u0627\u0644\u0627)<\/h3>\n
      \n
    • \u0648\u06cc\u0698\u06af\u06cc\u200c\u0647\u0627<\/strong>\u062a\u0631\u06a9\u06cc\u0628 VOC \u0646\u0633\u0628\u062a\u0627\u064b \u062b\u0627\u0628\u062a (\u0639\u0645\u062f\u062a\u0627\u064b PGMEA\/\u062d\u0644\u0627\u0644\u200c\u0647\u0627) \u0627\u0645\u0627 \u0646\u06cc\u0627\u0632 \u0628\u0647 \u0639\u0645\u0644\u06a9\u0631\u062f \u0628\u062f\u0648\u0646 \u0648\u0642\u0641\u0647 \u06f3\u06f6\u06f5x\u06f2\u06f4 \u0633\u0627\u0639\u062a \u062f\u0627\u0631\u062f.<\/li>\n
    • \u0645\u0632\u0627\u06cc\u0627<\/strong>:\n
        \n
      • \u062d\u0641\u0627\u0638\u062a \u0627\u0632 \u0639\u0645\u0644\u06a9\u0631\u062f<\/strong>\u0648\u06cc\u0698\u06af\u06cc\u200c\u0647\u0627\u06cc Zero-Pulse\u060c \u067e\u0627\u06cc\u062f\u0627\u0631\u06cc \u067e\u0646\u062c\u0631\u0647 \u0641\u0631\u0622\u06cc\u0646\u062f \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0631\u0627 \u062a\u0636\u0645\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f.<\/li>\n
      • \u0642\u0627\u0628\u0644\u06cc\u062a \u0627\u0637\u0645\u06cc\u0646\u0627\u0646 \u0628\u0627\u0644\u0627<\/strong>\u0637\u0631\u0627\u062d\u06cc \u062a\u06a9 \u0634\u06cc\u0631\u060c \u0635\u062f\u0647\u0627 \u0646\u0642\u0637\u0647 \u062e\u0631\u0627\u0628\u06cc \u0627\u062d\u062a\u0645\u0627\u0644\u06cc \u0645\u0631\u062a\u0628\u0637 \u0628\u0627 \u0645\u062d\u0631\u06a9\u200c\u0647\u0627 \u0648 \u062d\u0633\u06af\u0631\u0647\u0627\u06cc \u0634\u06cc\u0631 \u0631\u0627 \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u062f.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n
      • \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f\u06cc\u062a\u200c\u0647\u0627<\/strong>:\n
          \n
        • \u0631\u0633\u0648\u0628 \u0633\u06cc\u0644\u06cc\u0633<\/strong>\u062f\u0631 \u0635\u0648\u0631\u062a \u062a\u0635\u0641\u06cc\u0647 HMDS\u060c \u0686\u0631\u062e\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0645\u0646\u0638\u0645 \u00ab\u067e\u062e\u062a\u00bb \u06cc\u0627 \u0646\u06af\u0647\u062f\u0627\u0631\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062c\u0644\u0648\u06af\u06cc\u0631\u06cc \u0627\u0632 \u062a\u062c\u0645\u0639 $SiO_2$ \u0631\u0648\u06cc \u0645\u062d\u06cc\u0637 \u0633\u0631\u0627\u0645\u06cc\u06a9\u06cc \u0645\u0648\u0631\u062f \u0646\u06cc\u0627\u0632 \u0627\u0633\u062a.<\/li>\n
        • \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u0647\u200c\u06af\u0630\u0627\u0631\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u0647\u200c\u0627\u06cc<\/strong>\u0634\u06cc\u0631\u0647\u0627\u06cc \u062f\u0648\u0627\u0631 \u0628\u0627 \u06a9\u0627\u0631\u0627\u06cc\u06cc \u0628\u0627\u0644\u0627 \u0646\u06cc\u0627\u0632 \u0628\u0647 \u0645\u0627\u0634\u06cc\u0646\u06a9\u0627\u0631\u06cc \u062f\u0642\u06cc\u0642 \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f \u0648 \u062f\u0631 \u0646\u062a\u06cc\u062c\u0647 \u0647\u0632\u06cc\u0646\u0647 \u0627\u0648\u0644\u06cc\u0647 \u0628\u0627\u0644\u0627\u062a\u0631\u06cc \u062f\u0631 \u0645\u0642\u0627\u06cc\u0633\u0647 \u0628\u0627 RTO \u0647\u0627\u06cc \u0645\u0639\u0645\u0648\u0644\u06cc \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n

          \u0642\u0637\u0639\u0627\u062a \u062d\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0648 \u062a\u0648\u0635\u06cc\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645<\/h2>\n
            \n
          1. \u0634\u06cc\u0631 \u062f\u0648\u0627\u0631 \u0628\u0627 \u062f\u0642\u062a \u0628\u0627\u0644\u0627<\/strong>\u0633\u0627\u062e\u062a\u0647 \u0634\u062f\u0647 \u0627\u0632 \u0622\u0644\u06cc\u0627\u0698\u0647\u0627\u06cc \u062a\u062e\u0635\u0635\u06cc \u0628\u0627 \u0622\u0628\u200c\u0628\u0646\u062f\u06cc \u067e\u06cc\u0634\u0631\u0641\u062a\u0647 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0627\u0637\u0645\u06cc\u0646\u0627\u0646 \u0627\u0632 \u0639\u062f\u0645 \u0646\u0634\u062a\u06cc \u0648 \u0637\u0648\u0644 \u0639\u0645\u0631 \u0628\u0627\u0644\u0627.<\/li>\n
          2. \u067e\u06cc\u0634 \u0641\u06cc\u0644\u062a\u0631\u0627\u0633\u06cc\u0648\u0646 \u0686\u0646\u062f \u0645\u0631\u062d\u0644\u0647\u200c\u0627\u06cc (HEPA)<\/strong>\u0628\u0631\u0627\u06cc \u0641\u0631\u0622\u06cc\u0646\u062f\u0647\u0627\u06cc FEOL\u060c \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u062e\u0631\u0648\u062c\u06cc \u0628\u0627\u06cc\u062f \u0642\u0628\u0644 \u0627\u0632 \u0648\u0631\u0648\u062f \u0628\u0647 RTO \u06a9\u0627\u0645\u0644\u0627\u064b \u0641\u06cc\u0644\u062a\u0631 \u0634\u0648\u0646\u062f \u062a\u0627 \u0627\u0632 \u0645\u062d\u06cc\u0637 \u0633\u0631\u0627\u0645\u06cc\u06a9\u06cc \u062f\u0631 \u0628\u0631\u0627\u0628\u0631 \u0644\u0639\u0627\u0628 \u0633\u06cc\u0644\u0648\u06a9\u0633\u0627\u0646 \u063a\u06cc\u0631\u0645\u0646\u062a\u0638\u0631\u0647 \u0645\u062d\u0627\u0641\u0638\u062a \u0634\u0648\u062f.<\/li>\n
          3. \u0627\u0641\u0632\u0648\u0646\u06af\u06cc \u0627\u06cc\u0646\u0648\u0631\u062a\u0631 \u062f\u0648\u06af\u0627\u0646\u0647 (VFD)<\/strong>\u067e\u06cc\u06a9\u0631\u0628\u0646\u062f\u06cc VFD \u0628\u0647 \u0635\u0648\u0631\u062a Master\/Slave\u060c \u062f\u0631 \u0635\u0648\u0631\u062a \u062e\u0631\u0627\u0628\u06cc \u0645\u0627\u0698\u0648\u0644\u060c \u0627\u0645\u06a9\u0627\u0646 \u0633\u0648\u0626\u06cc\u0686\u06cc\u0646\u06af \u062f\u0631 \u0633\u0637\u062d \u0645\u06cc\u0644\u06cc\u200c\u062b\u0627\u0646\u06cc\u0647 \u0631\u0627 \u0641\u0631\u0627\u0647\u0645 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u0648 \u0639\u062f\u0645 \u0646\u06cc\u0627\u0632 \u0628\u0647 \u0632\u0645\u0627\u0646 \u0627\u0632 \u06a9\u0627\u0631\u0627\u0641\u062a\u0627\u062f\u06af\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645 \u0627\u06af\u0632\u0648\u0632 \u0631\u0627 \u062a\u0636\u0645\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f.<\/li>\n
          4. \u0628\u0627\u0632\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u062d\u0631\u0627\u0631\u062a \u062b\u0627\u0646\u0648\u06cc\u0647<\/strong>\u0628\u0627\u0632\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u06af\u0631\u0645\u0627\u06cc \u0627\u062d\u062a\u0631\u0627\u0642 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0631\u0637\u0648\u0628\u062a\u200c\u0632\u062f\u0627\u06cc\u06cc \u06cc\u0627 \u06af\u0631\u0645\u0627\u06cc\u0634 \u0645\u062c\u062f\u062f \u0627\u062a\u0627\u0642 \u062a\u0645\u06cc\u0632 \u0628\u0647 \u0645\u0646\u0638\u0648\u0631 \u0628\u0633\u062a\u0646 \u062d\u0644\u0642\u0647 \u0627\u0646\u0631\u0698\u06cc.<\/li>\n<\/ol>\n

            \u00a0\u0645\u0642\u0627\u06cc\u0633\u0647 \u0628\u0631\u0646\u062f\u0647\u0627\u06cc RTO \u062c\u0631\u06cc\u0627\u0646 \u0627\u0635\u0644\u06cc (\u0627\u0632 \u062f\u06cc\u062f\u06af\u0627\u0647 \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc\u200c\u0647\u0627)<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n
            \u0628\u0631\u0646\u062f<\/th>\n\u0642\u062f\u0631\u062a \u0647\u0633\u062a\u0647<\/th>\n\u06a9\u0646\u062a\u0631\u0644 \u0641\u0634\u0627\u0631<\/th>\n\u0645\u0646\u0637\u0642 \u062a\u0635\u0645\u06cc\u0645 \u06af\u06cc\u0631\u06cc<\/th>\n<\/tr>\n
            \u062f\u0648\u0631 (\u0627\u06a9\u0648\u067e\u0648\u0631)<\/strong><\/td>\n\u067e\u06cc\u0634\u06af\u0627\u0645 \u062f\u0631 Rotary RTO\u061b \u067e\u0627\u06cc\u06af\u0627\u0647 \u0646\u0635\u0628 \u06af\u0633\u062a\u0631\u062f\u0647 \u062f\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc Tier-1 (TSMC\u060c Intel).<\/td>\n\u0634\u062f\u06cc\u062f (\u00b1\u06f5 \u067e\u0627\u0633\u06a9\u0627\u0644)<\/td>\n\u0628\u0647\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0641\u0627\u0628\u200c\u0647\u0627\u06cc \u06f1\u06f2 \u0627\u06cc\u0646\u0686\u06cc \u0628\u0627 \u0628\u0648\u062f\u062c\u0647 \u0628\u0627\u0644\u0627 \u06a9\u0647 \u0628\u0647 \u062f\u0646\u0628\u0627\u0644 \u00ab\u0627\u0633\u062a\u0627\u0646\u062f\u0627\u0631\u062f \u0637\u0644\u0627\u06cc\u06cc\u00bb \u062c\u0647\u0627\u0646\u06cc \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f.<\/td>\n<\/tr>\n
            \u0642\u062f\u0631\u062a \u0627\u0628\u062f\u06cc (\u06cc\u0648\u0631\u0633\u0646\u062a)<\/strong><\/td>\n\u0641\u0646\u0627\u0648\u0631\u06cc \u062b\u0628\u062a \u0627\u062e\u062a\u0631\u0627\u0639 \u0634\u062f\u0647 Zero-Pulse\u2122<\/strong>\u067e\u0627\u0633\u062e \u0686\u0627\u0628\u06a9 \u0628\u0647 \u0645\u0648\u062c\u200c\u0647\u0627\u06cc PGMEA.<\/td>\n\u0639\u0627\u0644\u06cc (\u00b110 \u067e\u0627\u0633\u06a9\u0627\u0644)<\/td>\n\u0628\u0647\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0647\u0632\u06cc\u0646\u0647-\u0639\u0645\u0644\u06a9\u0631\u062f<\/strong> \u0648 \u067e\u0634\u062a\u06cc\u0628\u0627\u0646\u06cc \u0645\u0647\u0646\u062f\u0633\u06cc \u0628\u0648\u0645\u06cc\u200c\u0633\u0627\u0632\u06cc\u200c\u0634\u062f\u0647.<\/td>\n<\/tr>\n
            \u062a\u0627\u06cc\u06a9\u06cc\u0634\u0627<\/strong><\/td>\n\u0645\u062a\u062e\u0635\u0635 \u062f\u0631 \u0634\u0628\u06cc\u0647\u200c\u0633\u0627\u0632\u06cc \u062c\u0631\u06cc\u0627\u0646 \u0647\u0648\u0627\u061b \u0645\u0633\u0644\u0637 \u0628\u0647 \u0632\u0646\u062c\u06cc\u0631\u0647 \u062a\u062c\u0647\u06cc\u0632\u0627\u062a \u0698\u0627\u067e\u0646\u06cc.<\/td>\n\u0639\u0627\u0644\u06cc<\/td>\n\u0627\u06cc\u062f\u0647\u200c\u0622\u0644 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0627\u062f\u063a\u0627\u0645 \u0639\u0645\u06cc\u0642 \u0628\u0627 \u062e\u0637\u0648\u0637 \u0644\u06cc\u062a\u0648 \u0633\u0627\u062e\u062a \u0698\u0627\u067e\u0646.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n

            \u00a0\u0627\u062f\u063a\u0627\u0645 \u0627\u0646\u0637\u0628\u0627\u0642 \u062c\u0647\u0627\u0646\u06cc \u0628\u0627 \u0645\u062f\u06cc\u0631\u06cc\u062a \u0628\u0627\u0632\u062f\u0647<\/h2>\n

            \u0634\u0631\u06a9\u062a\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc \u06a9\u0647 \u062f\u0631 \u0633\u0637\u062d \u062c\u0647\u0627\u0646\u06cc \u06af\u0633\u062a\u0631\u0634 \u0645\u06cc\u200c\u06cc\u0627\u0628\u0646\u062f\u060c \u0628\u0627\u06cc\u062f \u0647\u0645 \u0633\u062e\u062a\u06af\u06cc\u0631\u0627\u0646\u0647\u200c\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0627\u0633\u062a\u0627\u0646\u062f\u0627\u0631\u062f\u0647\u0627\u06cc \u0632\u06cc\u0633\u062a\u200c\u0645\u062d\u06cc\u0637\u06cc \u0648 \u0647\u0645 \u0633\u062e\u062a\u200c\u06af\u06cc\u0631\u0627\u0646\u0647\u200c\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0627\u0647\u062f\u0627\u0641 \u0645\u0631\u0628\u0648\u0637 \u0628\u0647 \u0628\u0627\u0632\u062f\u0647 \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0622\u0648\u0631\u062f\u0647 \u06a9\u0646\u0646\u062f.<\/p>\n

              \n
            1. \u0686\u0627\u0631\u0686\u0648\u0628 \u0646\u0638\u0627\u0631\u062a\u06cc<\/strong>:\n