{"id":2011,"date":"2025-12-22T08:58:14","date_gmt":"2025-12-22T08:58:14","guid":{"rendered":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/?p=2011"},"modified":"2025-12-23T03:24:00","modified_gmt":"2025-12-23T03:24:00","slug":"%d8%a8%d9%87%db%8c%d9%86%d9%87%d8%b3%d8%a7%d8%b2%db%8c-%d8%aa%d8%b5%d9%81%db%8c%d9%87-%da%af%d8%a7%d8%b2%d9%87%d8%a7%db%8c-%d8%b2%d8%a7%d8%a6%d8%af-%d8%af%d8%b1-%d9%84%db%8c%d8%aa%d9%88%da%af","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/%da%a9%d8%a7%d8%b1%d8%a8%d8%b1%d8%af\/%d8%a8%d9%87%db%8c%d9%86%d9%87%d8%b3%d8%a7%d8%b2%db%8c-%d8%aa%d8%b5%d9%81%db%8c%d9%87-%da%af%d8%a7%d8%b2%d9%87%d8%a7%db%8c-%d8%b2%d8%a7%d8%a6%d8%af-%d8%af%d8%b1-%d9%84%db%8c%d8%aa%d9%88%da%af\/","title":{"rendered":"\u0628\u0647\u06cc\u0646\u0647\u200c\u0633\u0627\u0632\u06cc \u062a\u0635\u0641\u06cc\u0647 \u06af\u0627\u0632 \u0632\u0627\u0626\u062f \u062f\u0631 \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc \u0647\u0644\u0646\u062f\u06cc \u0628\u0627 \u0641\u0646\u0627\u0648\u0631\u06cc \u067e\u06cc\u0634\u0631\u0641\u062a\u0647 RTO"},"content":{"rendered":"

\u062f\u0631 \u0642\u0644\u0628 \u0645\u0631\u06a9\u0632 \u0646\u0648\u0622\u0648\u0631\u06cc \u0627\u0631\u0648\u067e\u0627\u060c \u0647\u0644\u0646\u062f \u0628\u0647 \u0639\u0646\u0648\u0627\u0646 \u06cc\u06a9 \u0631\u0647\u0628\u0631 \u062c\u0647\u0627\u0646\u06cc \u062f\u0631 \u0641\u0646\u0627\u0648\u0631\u06cc \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc\u200c\u0647\u0627\u060c \u062a\u0648\u0633\u0637 \u0634\u0631\u06a9\u062a\u200c\u0647\u0627\u06cc\u06cc \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f ASML \u06a9\u0647 \u067e\u06cc\u0634\u06af\u0627\u0645 \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0641\u0631\u0627\u0628\u0646\u0641\u0634 \u0634\u062f\u06cc\u062f \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f\u060c \u0627\u062f\u0627\u0631\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u0634\u0648\u062f. \u0627\u06cc\u0646 \u0635\u0646\u0639\u062a \u062f\u0642\u06cc\u0642\u060c \u06a9\u0647 \u0628\u0631 \u0627\u0644\u06af\u0648\u0633\u0627\u0632\u06cc \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0648 \u06a9\u0627\u0631\u0628\u0631\u062f \u0641\u062a\u0648\u0631\u0632\u06cc\u0633\u062a \u0645\u062a\u0645\u0631\u06a9\u0632 \u0627\u0633\u062a\u060c \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u0632\u0627\u0626\u062f \u062e\u0627\u0635\u06cc \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u06a9\u0647 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062d\u0641\u0638 \u06cc\u06a9\u067e\u0627\u0631\u0686\u06af\u06cc \u0627\u062a\u0627\u0642 \u062a\u0645\u06cc\u0632 \u0648 \u0645\u0633\u0626\u0648\u0644\u06cc\u062a \u0632\u06cc\u0633\u062a\u200c\u0645\u062d\u06cc\u0637\u06cc \u0646\u06cc\u0627\u0632 \u0628\u0647 \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f. \u0627\u06a9\u0633\u06cc\u062f\u06a9\u0646\u0646\u062f\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062d\u0631\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0627\u062d\u06cc\u0627\u06a9\u0646\u0646\u062f\u0647 (RTO) \u0628\u0647 \u0639\u0646\u0648\u0627\u0646 \u0627\u0628\u0632\u0627\u0631\u0647\u0627\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u062f\u0631 \u0627\u06cc\u0646\u062c\u0627 \u0638\u0627\u0647\u0631 \u0645\u06cc\u200c\u0634\u0648\u0646\u062f \u0648 \u062a\u0631\u06a9\u06cc\u0628\u0627\u062a \u0622\u0644\u06cc \u0641\u0631\u0627\u0631 \u0631\u0627 \u0627\u0632 \u062d\u0644\u0627\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc\u06cc \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u067e\u0631\u0648\u067e\u06cc\u0644\u0646 \u06af\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0644 \u0645\u0648\u0646\u0648\u0645\u062a\u06cc\u0644 \u0627\u062a\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0627\u062a \u0645\u0648\u0631\u062f \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u062f\u0631 \u067e\u0648\u0634\u0634\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0641\u062a\u0648\u0631\u0632\u06cc\u0633\u062a\u060c \u0645\u062f\u06cc\u0631\u06cc\u062a \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. \u0627\u06cc\u0646 \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645\u200c\u0647\u0627 \u0646\u0647 \u062a\u0646\u0647\u0627 \u0622\u0644\u0627\u06cc\u0646\u062f\u0647\u200c\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0647 \u0637\u0648\u0631 \u0645\u0624\u062b\u0631 \u0627\u0632 \u0628\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u0628\u0631\u0646\u062f\u060c \u0628\u0644\u06a9\u0647 \u06af\u0631\u0645\u0627 \u0631\u0627 \u0646\u06cc\u0632 \u0628\u0627\u0632\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f \u062a\u0627 \u0647\u0632\u06cc\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0639\u0645\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0631\u0627 \u062f\u0631 \u0645\u0646\u0627\u0637\u0642 \u062d\u0633\u0627\u0633 \u0628\u0647 \u0627\u0646\u0631\u0698\u06cc \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u0628\u0631\u0627\u0628\u0627\u0646\u062a \u0634\u0645\u0627\u0644\u06cc\u060c \u062c\u0627\u06cc\u06cc \u06a9\u0647 \u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a ASML \u062f\u0631 \u062d\u0627\u0644 \u0631\u0634\u062f \u0627\u0633\u062a\u060c \u0628\u0647 \u062d\u062f\u0627\u0642\u0644 \u0628\u0631\u0633\u0627\u0646\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0641\u0631\u0622\u06cc\u0646\u062f \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0634\u0627\u0645\u0644 \u067e\u0648\u0634\u0634\u200c\u062f\u0647\u06cc \u0648\u06cc\u0641\u0631\u0647\u0627 \u0628\u0627 \u0645\u0648\u0627\u062f \u062d\u0633\u0627\u0633 \u0628\u0647 \u0646\u0648\u0631\u060c \u0642\u0631\u0627\u0631 \u062f\u0627\u062f\u0646 \u0622\u0646\u0647\u0627 \u062f\u0631 \u0645\u0639\u0631\u0636 \u0646\u0648\u0631 \u0627\u0644\u06af\u0648\u062f\u0627\u0631 \u0648 \u0627\u06cc\u062c\u0627\u062f \u062a\u0635\u0648\u06cc\u0631 \u0627\u0633\u062a. \u062f\u0631 \u0637\u0648\u0644 \u0627\u06cc\u0646 \u0645\u0631\u0627\u062d\u0644\u060c \u0628\u062e\u0627\u0631\u0627\u062a \u062d\u0627\u0635\u0644 \u0627\u0632 \u062d\u0644\u0627\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0622\u0644\u06cc \u062a\u0628\u062e\u06cc\u0631 \u0645\u06cc\u200c\u0634\u0648\u0646\u062f \u0648 \u062c\u0631\u06cc\u0627\u0646\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062e\u0631\u0648\u062c\u06cc \u0628\u0627 \u063a\u0644\u0638\u062a \u06a9\u0645 \u0627\u0645\u0627 \u062d\u062c\u0645 \u0628\u0627\u0644\u0627 \u0627\u06cc\u062c\u0627\u062f \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. \u062f\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0647\u0644\u0646\u062f\u06cc\u060c \u062c\u0627\u06cc\u06cc \u06a9\u0647 \u067e\u0627\u06cc\u062f\u0627\u0631\u06cc \u0628\u0627 \u0641\u0631\u0647\u0646\u06af \u0633\u0627\u0632\u0645\u0627\u0646\u06cc \u062f\u0631 \u0647\u0645 \u062a\u0646\u06cc\u062f\u0647 \u0634\u062f\u0647 \u0627\u0633\u062a\u060c RTO\u0647\u0627 \u0628\u0647 \u0637\u0648\u0631 \u06cc\u06a9\u067e\u0627\u0631\u0686\u0647 \u0627\u062f\u063a\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u200c\u0634\u0648\u0646\u062f \u0648 \u0627\u0632 \u062a\u0639\u0647\u062f \u06a9\u0634\u0648\u0631 \u0628\u0647 \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u0635\u0646\u0639\u062a\u06cc \u062a\u062d\u062a \u0686\u0627\u0631\u0686\u0648\u0628\u200c\u0647\u0627\u06cc\u06cc \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u0645\u0639\u0627\u0645\u0644\u0647 \u0633\u0628\u0632 \u0627\u0631\u0648\u067e\u0627 \u062d\u0645\u0627\u06cc\u062a \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. \u062f\u0631 \u0646\u0632\u062f\u06cc\u06a9\u06cc \u0645\u0646\u0637\u0642\u0647 \u0641\u0644\u0627\u0646\u062f\u0631 \u0628\u0644\u0698\u06cc\u06a9\u060c \u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a \u0645\u0634\u0627\u0628\u0647\u06cc \u0628\u0647 \u0645\u0631\u0627\u06a9\u0632 \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642\u0627\u062a\u06cc IMEC \u06a9\u0645\u06a9 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f\u060c \u062f\u0631 \u062d\u0627\u0644\u06cc \u06a9\u0647 \u0632\u0627\u06a9\u0633\u0646 \u0622\u0644\u0645\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u0632\u0628\u0627\u0646 \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc\u06cc \u0627\u0633\u062a \u06a9\u0647 \u0627\u0632 \u062a\u062e\u0635\u0635 \u0645\u0634\u062a\u0631\u06a9 \u0641\u0631\u0627\u0645\u0631\u0632\u06cc \u062f\u0631 \u0641\u0646\u0627\u0648\u0631\u06cc \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u06af\u0644\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0627\u06cc \u0628\u0647\u0631\u0647\u200c\u0645\u0646\u062f \u0645\u06cc\u200c\u0634\u0648\u0646\u062f.<\/p>\n

\"\u062a\u06a9\u0646\u0633\u06cc\u0646\u200c\u0647\u0627<\/p>\n

\u0648\u06cc\u0698\u06af\u06cc\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0641\u062a\u0648\u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u062f\u0631 \u0645\u0646\u0627\u0637\u0642 \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641<\/h2>\n

\u0641\u0631\u0627\u062a\u0631 \u0627\u0632 \u0627\u0631\u0648\u067e\u0627\u060c \u06a9\u0634\u0648\u0631\u0647\u0627\u06cc \u067e\u06cc\u0634\u0631\u0648 \u062f\u0631 \u0635\u0646\u0639\u062a \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u062a\u0627\u06cc\u0648\u0627\u0646\u060c \u0628\u0627 \u062e\u0637\u0648\u0637 \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f \u0639\u0638\u06cc\u0645 TSMC\u060c \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0645\u062f\u06cc\u0631\u06cc\u062a \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u062e\u0631\u0648\u062c\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0628\u0647 RTO\u0647\u0627 \u0645\u062a\u06a9\u06cc \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f \u0648 \u0627\u0632 \u0642\u0648\u0627\u0646\u06cc\u0646 \u0633\u062e\u062a\u06af\u06cc\u0631\u0627\u0646\u0647 \u06a9\u06cc\u0641\u06cc\u062a \u0647\u0648\u0627 \u06a9\u0647 VOC\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0647 \u06a9\u0645\u062a\u0631 \u0627\u0632 20 \u0645\u06cc\u0644\u06cc\u200c\u06af\u0631\u0645 \u0628\u0631 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f\u060c \u067e\u06cc\u0631\u0648\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. \u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a \u0633\u0627\u0645\u0633\u0648\u0646\u06af \u06a9\u0631\u0647 \u062c\u0646\u0648\u0628\u06cc \u062f\u0631 \u0647\u0648\u0627\u0633\u0626\u0648\u0646\u06af\u060c \u0637\u0631\u062d\u200c\u0647\u0627\u06cc RTO \u067e\u06cc\u0634\u0631\u0641\u062a\u0647\u200c\u0627\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0645\u062f\u06cc\u0631\u06cc\u062a \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u0645\u0634\u0627\u0628\u0647 \u0628\u0647 \u06a9\u0627\u0631 \u06af\u0631\u0641\u062a\u0647\u200c\u0627\u0646\u062f \u0648 \u0628\u0631 \u0646\u0631\u062e \u0628\u0627\u0632\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u06af\u0631\u0645\u0627 \u0628\u0627\u0644\u0627\u062a\u0631 \u0627\u0632 95% \u062a\u0623\u06a9\u06cc\u062f \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f \u062a\u0627 \u062a\u0642\u0627\u0636\u0627\u06cc \u0628\u0627\u0644\u0627\u06cc \u0627\u0646\u0631\u0698\u06cc \u0631\u0627 \u062c\u0628\u0631\u0627\u0646 \u06a9\u0646\u0646\u062f. \u062f\u0631 \u0627\u06cc\u0627\u0644\u0627\u062a \u0645\u062a\u062d\u062f\u0647\u060c \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0627\u06cc\u0646\u062a\u0644 \u062f\u0631 \u0627\u0648\u0631\u06af\u0627\u0646 \u0627\u0632 RTO\u0647\u0627\u06cc \u0645\u062a\u0646\u0627\u0633\u0628 \u0628\u0627 \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f \u06a9\u0647 \u0628\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0627\u0646\u062f\u0627\u0631\u062f\u0647\u0627\u06cc \u0645\u0644\u06cc \u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 EPA \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0622\u0644\u0627\u06cc\u0646\u062f\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062e\u0637\u0631\u0646\u0627\u06a9 \u0647\u0648\u0627 \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642\u062a \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f\u060c \u06a9\u0647 \u0631\u0627\u0646\u062f\u0645\u0627\u0646 \u062a\u062e\u0631\u06cc\u0628 98% \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc HAP\u0647\u0627\u06cc \u0622\u0644\u06cc \u0627\u0644\u0632\u0627\u0645\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0639\u0645\u0644\u06cc\u0627\u062a \u0634\u0631\u06a9\u062a\u200c\u0647\u0627\u06cc Tokyo Electron \u0648 Canon \u0698\u0627\u067e\u0646 \u062f\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0627\u0646 \u06a9\u0648\u0645\u0627\u0645\u0648\u062a\u0648\u060c \u06a9\u0627\u0631\u0628\u0631\u062f\u0647\u0627\u06cc RTO \u062f\u0631 \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0631\u062c\u0633\u062a\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f\u060c \u062c\u0627\u06cc\u06cc \u06a9\u0647 \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645\u200c\u0647\u0627 \u0628\u0627\u06cc\u062f \u062f\u0631 \u0628\u0631\u0627\u0628\u0631 \u0634\u0631\u0627\u06cc\u0637 \u0645\u0631\u0637\u0648\u0628 \u0631\u0627\u06cc\u062c \u062f\u0631 \u0645\u0631\u0627\u06a9\u0632 \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f\u06cc \u0622\u0633\u06cc\u0627 \u0645\u0642\u0627\u0648\u0645\u062a \u06a9\u0646\u0646\u062f. \u0634\u0631\u06a9\u062a SMIC \u0686\u06cc\u0646 \u062f\u0631 \u0634\u0627\u0646\u06af\u0647\u0627\u06cc\u060c RTO\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062a\u0635\u0641\u06cc\u0647 \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u067e\u0631\u062f\u0627\u0632\u0634 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0645\u0633\u062a\u0642\u0631 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u0648 \u0627\u0632 \u0627\u0633\u062a\u0627\u0646\u062f\u0627\u0631\u062f\u0647\u0627\u06cc GB 37822-2019 \u06a9\u0647 \u0645\u06cc\u0632\u0627\u0646 \u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 NMHC \u0631\u0627 \u062f\u0631 40 \u0645\u06cc\u0644\u06cc\u200c\u06af\u0631\u0645 \u0628\u0631 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f\u060c \u067e\u06cc\u0631\u0648\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f. \u0627\u0633\u0631\u0627\u0626\u06cc\u0644\u060c \u06a9\u0647 \u0645\u062d\u0644 \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f Tower Semiconductor \u0627\u0633\u062a\u060c RTO\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u062f\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc Migdal HaEmek \u0627\u062f\u063a\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u0648 \u0628\u0631 \u0637\u0631\u062d\u200c\u0647\u0627\u06cc \u06a9\u0645\u200c\u0647\u0632\u06cc\u0646\u0647 \u0648 \u0645\u0646\u0627\u0633\u0628 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0622\u0628 \u0648 \u0647\u0648\u0627\u06cc \u062e\u0634\u06a9 \u062a\u0645\u0631\u06a9\u0632 \u062f\u0627\u0631\u062f.<\/p>\n

\u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u06af\u0644\u0648\u0628\u0627\u0644\u200c\u0641\u0627\u0646\u062f\u0631\u06cc\u0632 \u0633\u0646\u06af\u0627\u067e\u0648\u0631 \u0628\u0631 \u0648\u0627\u062d\u062f\u0647\u0627\u06cc RTO \u0641\u0634\u0631\u062f\u0647 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0634\u0647\u0631\u06cc \u0628\u0627 \u0641\u0636\u0627\u06cc \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u062a\u0623\u06a9\u06cc\u062f \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f\u060c \u062f\u0631 \u062d\u0627\u0644\u06cc \u06a9\u0647 \u0633\u06cc\u0644\u062a\u0631\u0627 \u0645\u0627\u0644\u0632\u06cc \u062f\u0631 \u06a9\u0648\u0644\u06cc\u0645 \u0627\u0632 \u0622\u0646\u0647\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0636\u0627\u06cc\u0639\u0627\u062a \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u06a9\u0647 \u062a\u062d\u062a \u062d\u0645\u0627\u06cc\u062a \u0645\u0634\u0648\u0642\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0637\u0631\u062d \u062a\u0623\u0645\u06cc\u0646 \u0645\u0627\u0644\u06cc \u0641\u0646\u0627\u0648\u0631\u06cc \u0633\u0628\u0632 \u0627\u06cc\u0646 \u06a9\u0634\u0648\u0631 \u0627\u0633\u062a. \u067e\u0631\u062f\u06cc\u0633 \u0627\u06cc\u0646\u062a\u0644 \u0644\u06cc\u06a9\u0633\u0644\u06cc\u067e \u0627\u06cc\u0631\u0644\u0646\u062f \u0627\u0632 \u0641\u0646\u0627\u0648\u0631\u06cc RTO \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642 \u0628\u0627 \u062f\u0633\u062a\u0648\u0631\u0627\u0644\u0639\u0645\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc IED \u0627\u062a\u062d\u0627\u062f\u06cc\u0647 \u0627\u0631\u0648\u067e\u0627 \u0628\u0647\u0631\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u0628\u0631\u062f \u06a9\u0647 \u0628\u0627 \u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a \u0647\u0645\u0633\u0627\u06cc\u0647 \u0628\u0631\u06cc\u062a\u0627\u0646\u06cc\u0627 \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0633\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u06af\u0644\u0646 \u0627\u0633\u06a9\u0627\u062a\u0644\u0646\u062f \u0645\u0634\u062a\u0631\u06a9 \u0627\u0633\u062a.<\/p>\n

\u0635\u062d\u0646\u0647 \u0646\u0648\u0638\u0647\u0648\u0631 \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0641\u0646\u0644\u0627\u0646\u062f \u062f\u0631 \u0627\u0648\u0644\u0648\u060c \u0628\u0627 \u0627\u0644\u0647\u0627\u0645 \u0627\u0632 \u0633\u06cc\u0627\u0633\u062a\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0632\u06cc\u0633\u062a\u200c\u0645\u062d\u06cc\u0637\u06cc \u06a9\u0634\u0648\u0631\u0647\u0627\u06cc \u0634\u0645\u0627\u0644 \u0627\u0631\u0648\u067e\u0627\u060c \u0627\u062f\u063a\u0627\u0645 RTO\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0628\u0631\u0631\u0633\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f. \u0634\u0631\u06a9\u062a ams-OSRAM \u0627\u062a\u0631\u06cc\u0634 \u062f\u0631 \u067e\u0631\u0645\u0633\u062a\u0627\u062a\u0646 \u0627\u0632 RTO\u0647\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u062d\u0633\u06af\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f\u060c \u062f\u0631 \u062d\u0627\u0644\u06cc \u06a9\u0647 \u0645\u0631\u0627\u06a9\u0632 \u0646\u0648\u0638\u0647\u0648\u0631 \u0627\u0633\u067e\u0627\u0646\u06cc\u0627 \u062f\u0631 \u06a9\u0627\u062a\u0627\u0644\u0648\u0646\u06cc\u0627 \u0628\u0647 \u062f\u0646\u0628\u0627\u0644 \u0645\u062f\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0647\u0644\u0646\u062f\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06cc \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u067e\u0627\u06cc\u062f\u0627\u0631 \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f. \u0628\u062e\u0634 \u0627\u0644\u06a9\u062a\u0631\u0648\u0646\u06cc\u06a9 \u0631\u0648 \u0628\u0647 \u0631\u0634\u062f \u0644\u0647\u0633\u062a\u0627\u0646 \u062f\u0631 \u0648\u0631\u0634\u0648\u060c \u062a\u062d\u062a \u062a\u0623\u062b\u06cc\u0631 \u0628\u0648\u062f\u062c\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0627\u0646\u0633\u062c\u0627\u0645 \u0627\u062a\u062d\u0627\u062f\u06cc\u0647 \u0627\u0631\u0648\u067e\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0641\u0646\u0627\u0648\u0631\u06cc \u0633\u0628\u0632\u060c RTO\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0647 \u06a9\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u200c\u06af\u06cc\u0631\u062f.<\/p>\n

\u0634\u0631\u06a9\u062a ON Semiconductor \u062c\u0645\u0647\u0648\u0631\u06cc \u0686\u06a9 \u062f\u0631 Ro\u017enov pod Radho\u0161t\u011bm \u0627\u0632 RTO\u0647\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u0648 Nanium \u067e\u0631\u062a\u063a\u0627\u0644 \u062f\u0631 Vila do Conde \u0628\u0631 \u0628\u0633\u062a\u0647\u200c\u0628\u0646\u062f\u06cc \u062a\u0645\u0631\u06a9\u0632 \u062f\u0627\u0631\u062f \u0627\u0645\u0627 \u0646\u06cc\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u062a\u0635\u0641\u06cc\u0647 \u06af\u0627\u0632 \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0647 \u0627\u0634\u062a\u0631\u0627\u06a9 \u0645\u06cc\u200c\u06af\u0630\u0627\u0631\u062f. STMicroelectronics \u0633\u0648\u0626\u06cc\u0633 \u062f\u0631 \u0698\u0646\u0648 \u0628\u0647 \u06a9\u0646\u062a\u0631\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062f\u0642\u06cc\u0642 RTO \u0645\u062a\u06a9\u06cc \u0627\u0633\u062a\u060c \u062f\u0631 \u062d\u0627\u0644\u06cc \u06a9\u0647 Ericsson \u0633\u0648\u0626\u062f \u062f\u0631 Kista \u0622\u0646\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f \u062a\u0631\u0627\u0634\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0645\u062e\u0627\u0628\u0631\u0627\u062a\u06cc \u0628\u0631\u0631\u0633\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0641\u0639\u0627\u0644\u06cc\u062a \u067e\u0631\u0627\u06a9\u0646\u062f\u0647 \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc \u062f\u0627\u0646\u0645\u0627\u0631\u06a9 \u062f\u0631 \u06a9\u067e\u0646\u0647\u0627\u06af \u0627\u0632 \u0646\u0632\u062f\u06cc\u06a9\u06cc \u0628\u0647 \u062a\u062e\u0635\u0635 \u0622\u0644\u0645\u0627\u0646 \u0648 \u0647\u0644\u0646\u062f \u0633\u0648\u062f \u0645\u06cc\u200c\u0628\u0631\u062f\u060c \u0648 RTO\u0647\u0627 \u0628\u0647 \u0647\u0631\u06af\u0648\u0646\u0647 \u06af\u0633\u062a\u0631\u0634 \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0645\u06a9 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. REC Silicon \u0646\u0631\u0648\u0698 \u062f\u0631 \u06a9\u0631\u06cc\u0633\u062a\u06cc\u0646\u0633\u0627\u0646\u062f\u060c \u067e\u06cc\u0634\u200c\u0633\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u067e\u0644\u06cc\u200c\u0633\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0631\u0627 \u0645\u062f\u06cc\u0631\u06cc\u062a \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u0648 \u0627\u0632 RTO\u0647\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u0645\u0631\u062a\u0628\u0637 \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f. \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642 \u0648 \u062a\u0648\u0633\u0639\u0647 \u062f\u0631 \u0645\u0642\u06cc\u0627\u0633 \u06a9\u0648\u0686\u06a9 \u0644\u0648\u06a9\u0632\u0627\u0645\u0628\u0648\u0631\u06af \u062f\u0631 \u0627\u0634-\u0633\u0648\u0631-\u0622\u0644\u0632\u062a\u060c \u0627\u0632 \u0647\u0645\u0627\u0647\u0646\u06af\u06cc\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0628\u0644\u0698\u06cc\u06a9 \u0648 \u0641\u0631\u0627\u0646\u0633\u0647 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0627\u0633\u062a\u0642\u0631\u0627\u0631 RTO \u0628\u0647\u0631\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u0628\u0631\u062f.<\/p>\n

\u0634\u0631\u06a9\u062a STMicroelectronics \u0641\u0631\u0627\u0646\u0633\u0647 \u062f\u0631 Crolles\u060c RTO\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u060c \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642 \u0628\u0627 \u0627\u062d\u06a9\u0627\u0645 \u0645\u0644\u06cc \u062f\u0631 \u0645\u0648\u0631\u062f \u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 VOC \u06a9\u0645\u062a\u0631 \u0627\u0632 \u06f1\u06f1\u06f0 \u0645\u06cc\u0644\u06cc\u200c\u06af\u0631\u0645 \u0628\u0631 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628\u060c \u0627\u062f\u063a\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f. \u0634\u0631\u06a9\u062a Compound Semiconductor Applications Catapult \u0627\u0646\u06af\u0644\u0633\u062a\u0627\u0646 \u062f\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u062f\u06cc\u0641\u060c \u062a\u062d\u062a \u0645\u062c\u0648\u0632\u0647\u0627\u06cc \u0622\u0698\u0627\u0646\u0633 \u0645\u062d\u06cc\u0637 \u0632\u06cc\u0633\u062a\u060c \u0627\u0632 RTO\u0647\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0641\u0631\u0622\u06cc\u0646\u062f\u0647\u0627\u06cc \u067e\u06cc\u0634\u0631\u0641\u062a\u0647 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f.<\/p>\n

\"\u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645<\/h2>\n

\u067e\u0627\u0631\u0627\u0645\u062a\u0631\u0647\u0627\u06cc \u0641\u0646\u06cc RTO<\/h2>\n

\u062f\u0631 \u0627\u06cc\u0646 \u0632\u0645\u06cc\u0646\u0647\u060c \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645\u200c\u0647\u0627\u06cc RTO \u0645\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0646\u06cc\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u0645\u0646\u062d\u0635\u0631 \u0628\u0647 \u0641\u0631\u062f \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u062c\u0644\u0648\u06cc\u06cc \u0637\u0631\u0627\u062d\u06cc \u0634\u062f\u0647\u200c\u0627\u0646\u062f\u060c \u062c\u0627\u06cc\u06cc \u06a9\u0647 \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u062e\u0631\u0648\u062c\u06cc \u0627\u0632 \u0645\u0631\u0627\u062d\u0644 \u067e\u0648\u0634\u0634 \u0686\u0631\u062e\u0634\u06cc \u0641\u062a\u0648\u0631\u0632\u06cc\u0633\u062a \u0648 \u062a\u0648\u0633\u0639\u0647 \u062d\u0627\u0648\u06cc \u0645\u0642\u0627\u062f\u06cc\u0631 \u06a9\u0645\u06cc \u0627\u0632 \u062d\u0644\u0627\u0644\u200c\u0647\u0627 \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f \u06a9\u0647 \u0628\u0627\u06cc\u062f \u0628\u062f\u0648\u0646 \u0628\u0647 \u062e\u0637\u0631 \u0627\u0646\u062f\u0627\u062e\u062a\u0646 \u06a9\u06cc\u0641\u06cc\u062a \u0647\u0648\u0627\u06cc \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f \u0634\u062f\u0647\u060c \u0627\u06a9\u0633\u06cc\u062f \u0634\u0648\u0646\u062f. \u06cc\u06a9 \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645 \u0645\u0639\u0645\u0648\u0644\u06cc 10\u060c000 \u062a\u0627 50\u060c000 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628 \u062f\u0631 \u0633\u0627\u0639\u062a \u0647\u0648\u0627 \u0631\u0627 \u067e\u0631\u062f\u0627\u0632\u0634 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u0648 \u0628\u0647 \u062a\u062e\u0631\u06cc\u0628 \u0628\u06cc\u0634 \u0627\u0632 99% \u0627\u0632 VOC\u0647\u0627\u06cc\u06cc \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u0627\u062a\u06cc\u0644 \u0644\u0627\u06a9\u062a\u0627\u062a \u06cc\u0627 \u0633\u06cc\u06a9\u0644\u0648\u067e\u0646\u062a\u0627\u0646\u0648\u0646 \u062f\u0633\u062a \u0645\u06cc\u200c\u06cc\u0627\u0628\u062f.<\/p>\n

\u067e\u0627\u0631\u0627\u0645\u062a\u0631\u0647\u0627\u06cc \u0641\u0646\u06cc \u06a9\u0644\u06cc\u062f\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06cc RTO \u062f\u0631 \u0633\u0646\u0627\u0631\u06cc\u0648\u0647\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0639\u0628\u0627\u0631\u062a\u0646\u062f \u0627\u0632:<\/p>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u067e\u0627\u0631\u0627\u0645\u062a\u0631<\/th>\n\u0645\u0642\u062f\u0627\u0631\/\u0645\u062d\u062f\u0648\u062f\u0647<\/th>\n<\/tr>\n
\u0631\u0627\u0646\u062f\u0645\u0627\u0646 \u062d\u0631\u0627\u0631\u062a\u06cc (TER)<\/td>\n95-98%<\/td>\n<\/tr>\n
\u0631\u0627\u0646\u062f\u0645\u0627\u0646 \u062d\u0630\u0641 VOC (DRE)<\/td>\n>99%<\/td>\n<\/tr>\n
\u062f\u0645\u0627\u06cc \u0639\u0645\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc<\/td>\n\u06f7\u06f6\u06f0-\u06f8\u06f5\u06f0 \u062f\u0631\u062c\u0647 \u0633\u0627\u0646\u062a\u06cc\u200c\u06af\u0631\u0627\u062f<\/td>\n<\/tr>\n
\u0632\u0645\u0627\u0646 \u0627\u0642\u0627\u0645\u062a<\/td>\n\u06f0.\u06f5-\u06f1.\u06f0 \u062b\u0627\u0646\u06cc\u0647<\/td>\n<\/tr>\n
\u0638\u0631\u0641\u06cc\u062a \u062c\u0631\u06cc\u0627\u0646 \u0647\u0648\u0627<\/td>\n\u06f5\u06f0\u06f0\u06f0-\u06f1\u06f0\u06f0\u06f0\u06f0\u06f0 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628 \u062f\u0631 \u0633\u0627\u0639\u062a<\/td>\n<\/tr>\n
\u0627\u0641\u062a \u0641\u0634\u0627\u0631<\/td>\n\u06f1\u06f0\u06f0-\u06f3\u06f0\u06f0 \u067e\u0627\u0633\u06a9\u0627\u0644<\/td>\n<\/tr>\n
\u0631\u0633\u0627\u0646\u0647 \u0628\u0627\u0632\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u06af\u0631\u0645\u0627<\/td>\n\u0644\u0627\u0646\u0647 \u0632\u0646\u0628\u0648\u0631\u06cc \u0633\u0631\u0627\u0645\u06cc\u06a9\u06cc \u0633\u0627\u062e\u062a\u0627\u0631 \u06cc\u0627\u0641\u062a\u0647<\/td>\n<\/tr>\n
\u0686\u0631\u062e\u0647 \u062a\u0639\u0648\u06cc\u0636 \u0634\u06cc\u0631<\/td>\n\u06f6\u06f0-\u06f1\u06f2\u06f0 \u062b\u0627\u0646\u06cc\u0647<\/td>\n<\/tr>\n
\u0645\u06cc\u0632\u0627\u0646 \u0646\u0634\u062a<\/td>\n<0.5%<\/td>\n<\/tr>\n
\u0645\u0635\u0631\u0641 \u0633\u0648\u062e\u062a \u06a9\u0645\u06a9\u06cc<\/td>\n\u06af\u0627\u0632 \u0637\u0628\u06cc\u0639\u06cc \u06f0-\u06f5\u06f0 \u0646\u06cc\u0648\u062a\u0646 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628 \u0628\u0631 \u0633\u0627\u0639\u062a (\u062e\u0648\u062f\u067e\u0627\u06cc\u062f\u0627\u0631 \u0628\u0627\u0644\u0627\u06cc \u06f2 \u06af\u0631\u0645 \u0628\u0631 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628 VOC)<\/td>\n<\/tr>\n
\u0645\u0635\u0631\u0641 \u0628\u0631\u0642<\/td>\n\u06f5\u06f0-\u06f2\u06f0\u06f0 \u06a9\u06cc\u0644\u0648\u0648\u0627\u062a \u0628\u0633\u062a\u0647 \u0628\u0647 \u0627\u0646\u062f\u0627\u0632\u0647<\/td>\n<\/tr>\n
\u0645\u0635\u0627\u0644\u062d \u0633\u0627\u062e\u062a\u0645\u0627\u0646\u06cc<\/td>\n\u0641\u0648\u0644\u0627\u062f \u0636\u062f \u0632\u0646\u06af 304\/316 \u0628\u0627 \u067e\u0648\u0634\u0634 \u0645\u0642\u0627\u0648\u0645 \u062f\u0631 \u0628\u0631\u0627\u0628\u0631 \u062e\u0648\u0631\u062f\u06af\u06cc<\/td>\n<\/tr>\n
\u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 NOx<\/td>\n\u06a9\u0645\u062a\u0631 \u0627\u0632 50 \u0645\u06cc\u0644\u06cc\u200c\u06af\u0631\u0645 \u0628\u0631 \u0646\u06cc\u0648\u062a\u0646\u200c\u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628 \u0628\u0627 \u0645\u0634\u0639\u0644 \u06a9\u0645 NOx<\/td>\n<\/tr>\n
\u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 CO2<\/td>\n\u06a9\u0645\u062a\u0631 \u0627\u0632 100 \u0645\u06cc\u0644\u06cc\u200c\u06af\u0631\u0645 \u0628\u0631 \u0646\u06cc\u0648\u062a\u0646\u200c\u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628<\/td>\n<\/tr>\n
\u06a9\u0646\u062a\u0631\u0644 \u0630\u0631\u0627\u062a \u0645\u0639\u0644\u0642<\/td>\n\u067e\u06cc\u0634\u200c\u0641\u06cc\u0644\u062a\u0631 \u06cc\u06a9\u067e\u0627\u0631\u0686\u0647 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0630\u0631\u0627\u062a \u0632\u06cc\u0631 \u0645\u06cc\u06a9\u0631\u0648\u0646<\/td>\n<\/tr>\n
\u062a\u062d\u0645\u0644 \u0631\u0637\u0648\u0628\u062a<\/td>\n\u062a\u0627 80% RH \u0628\u0627 \u06af\u0632\u06cc\u0646\u0647 \u0631\u0637\u0648\u0628\u062a \u0632\u062f\u0627\u06cc\u06cc<\/td>\n<\/tr>\n
\u0646\u0633\u0628\u062a \u062a\u0631\u0646\u200c\u062f\u0627\u0648\u0646<\/td>\n5:1<\/td>\n<\/tr>\n
\u0631\u062f\u067e\u0627<\/td>\n\u06f1\u06f0-\u06f5\u06f0 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u0631\u0628\u0639 \u0628\u0631 \u0627\u0633\u0627\u0633 \u0638\u0631\u0641\u06cc\u062a<\/td>\n<\/tr>\n
\u0648\u0632\u0646<\/td>\n\u06f5-\u06f2\u06f0 \u062a\u0646<\/td>\n<\/tr>\n
\u0632\u0645\u0627\u0646 \u0646\u0635\u0628<\/td>\n\u06f4-\u06f6 \u0647\u0641\u062a\u0647<\/td>\n<\/tr>\n
\u0641\u0627\u0635\u0644\u0647 \u0632\u0645\u0627\u0646\u06cc \u0646\u06af\u0647\u062f\u0627\u0631\u06cc<\/td>\n\u0628\u0627\u0632\u0631\u0633\u06cc \u0633\u0627\u0644\u0627\u0646\u0647\u060c \u062a\u0639\u0648\u06cc\u0636 \u0645\u062f\u06cc\u0627 \u0647\u0631 \u06f5-\u06f7 \u0633\u0627\u0644<\/td>\n<\/tr>\n
\u0642\u0641\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0627\u06cc\u0645\u0646\u06cc<\/td>\n\u0646\u0638\u0627\u0631\u062a \u0628\u0631 LEL\u060c \u0634\u0639\u0644\u0647\u200c\u0634\u06a9\u0646\u200c\u0647\u0627\u060c \u0628\u0627\u06cc\u200c\u067e\u0633 \u0627\u0636\u0637\u0631\u0627\u0631\u06cc<\/td>\n<\/tr>\n
\u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645 \u06a9\u0646\u062a\u0631\u0644<\/td>\nPLC \u0628\u0627 \u0642\u0627\u0628\u0644\u06cc\u062a \u06cc\u06a9\u067e\u0627\u0631\u0686\u0647\u200c\u0633\u0627\u0632\u06cc \u0628\u0627 SCADA<\/td>\n<\/tr>\n
\u0633\u0637\u062d \u0646\u0648\u06cc\u0632<\/td>\n<85 \u062f\u0633\u06cc\u200c\u0628\u0644 (A)<\/td>\n<\/tr>\n
\u06af\u0632\u06cc\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0628\u0627\u0632\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u0627\u0646\u0631\u0698\u06cc<\/td>\n\u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f \u0647\u0648\u0627\u06cc \u06af\u0631\u0645 \u06cc\u0627 \u0628\u062e\u0627\u0631<\/td>\n<\/tr>\n
\u06af\u0648\u0627\u0647\u06cc\u0646\u0627\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0627\u0646\u0637\u0628\u0627\u0642<\/td>\nCE\u060c ATEX\u060c UL<\/td>\n<\/tr>\n
\u0645\u062d\u062f\u0648\u062f\u0647 \u0647\u0632\u06cc\u0646\u0647<\/td>\n\u06f5\u06f0\u06f0\u060c\u06f0\u06f0\u06f0 \u062a\u0627 \u06f2\u060c\u06f0\u06f0\u06f0\u060c\u06f0\u06f0\u06f0 \u06cc\u0648\u0631\u0648 \u0628\u0633\u062a\u0647 \u0628\u0647 \u0645\u0642\u06cc\u0627\u0633<\/td>\n<\/tr>\n
\u0686\u0631\u062e\u0647 \u062d\u06cc\u0627\u062a<\/td>\n\u06f1\u06f5-\u06f2\u06f0 \u0633\u0627\u0644<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n

\u0627\u06cc\u0646 \u067e\u0627\u0631\u0627\u0645\u062a\u0631\u0647\u0627 \u062a\u0636\u0645\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f \u06a9\u0647 RTO\u0647\u0627 \u0628\u0647 \u0637\u0648\u0631 \u06cc\u06a9\u067e\u0627\u0631\u0686\u0647 \u062f\u0631 \u06af\u0631\u062f\u0634\u200c\u0647\u0627\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u060c \u06a9\u0647 \u062f\u0631 \u0622\u0646 \u0632\u0645\u0627\u0646 \u0627\u0632 \u06a9\u0627\u0631\u0627\u0641\u062a\u0627\u062f\u06af\u06cc \u067e\u0631\u0647\u0632\u06cc\u0646\u0647 \u0627\u0633\u062a\u060c \u062c\u0627\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06af\u06cc\u0631\u0646\u062f. \u0628\u0647 \u0639\u0646\u0648\u0627\u0646 \u0645\u062b\u0627\u0644\u060c \u062f\u0631 \u06cc\u06a9 \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647 \u0647\u0644\u0646\u062f\u06cc \u06a9\u0647 \u0648\u06cc\u0641\u0631\u0647\u0627\u06cc \u06f3\u06f0\u06f0 \u0645\u06cc\u0644\u06cc\u200c\u0645\u062a\u0631\u06cc \u0631\u0627 \u067e\u0631\u062f\u0627\u0632\u0634 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f\u060c RTO \u0633\u0637\u062d VOC \u0632\u06cc\u0631 ppm \u0631\u0627 \u062f\u0631 \u0627\u06af\u0632\u0648\u0632 \u062d\u0641\u0638 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u0648 \u0627\u0632 \u0622\u0644\u0648\u062f\u06af\u06cc \u062f\u0631 \u0645\u062d\u06cc\u0637\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0641\u0648\u0642\u200c\u0627\u0644\u0639\u0627\u062f\u0647 \u062a\u0645\u06cc\u0632 \u062c\u0644\u0648\u06af\u06cc\u0631\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0633\u0646\u0627\u0631\u06cc\u0648\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u062c\u0644\u0648\u06cc\u06cc \u0634\u0627\u0645\u0644 \u063a\u0644\u0638\u062a\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0628\u0633\u06cc\u0627\u0631 \u067e\u0627\u06cc\u06cc\u0646 VOC (\u0645\u0639\u0645\u0648\u0644\u0627\u064b 0.1-1 \u06af\u0631\u0645 \u062f\u0631 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628) \u0627\u0632 \u0627\u06af\u0632\u0648\u0632 \u0627\u062a\u0627\u0642 \u062a\u0645\u06cc\u0632 \u0627\u0633\u062a \u06a9\u0647 \u0646\u06cc\u0627\u0632 \u0628\u0647 \u0627\u06a9\u0633\u06cc\u062f\u0627\u0633\u06cc\u0648\u0646 \u0628\u0627 \u0631\u0627\u0646\u062f\u0645\u0627\u0646 \u0628\u0627\u0644\u0627 \u0628\u062f\u0648\u0646 \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f \u0622\u0644\u0627\u06cc\u0646\u062f\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062b\u0627\u0646\u0648\u06cc\u0647 \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f NOx \u062f\u0627\u0631\u062f. \u0631\u0637\u0648\u0628\u062a \u0628\u0627\u0644\u0627\u06cc \u062d\u0627\u0635\u0644 \u0627\u0632 \u0645\u0631\u0627\u062d\u0644 \u0634\u0633\u062a\u0634\u0648\u060c \u0631\u0637\u0648\u0628\u062a\u200c\u0632\u062f\u0627\u06cc\u06cc \u0642\u0648\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062c\u0644\u0648\u06af\u06cc\u0631\u06cc \u0627\u0632 \u062a\u0631\u0627\u06a9\u0645 \u062f\u0631 \u0628\u0633\u062a\u0631\u0647\u0627\u06cc RTO \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f. \u06a9\u0646\u062a\u0631\u0644 \u062f\u0642\u06cc\u0642 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062c\u0644\u0648\u06af\u06cc\u0631\u06cc \u0627\u0632 \u0646\u0648\u0633\u0627\u0646\u0627\u062a \u0641\u0634\u0627\u0631 \u06a9\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u062a\u0648\u0627\u0646\u062f \u062a\u0631\u0627\u0632 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0631\u0627 \u0645\u062e\u062a\u0644 \u06a9\u0646\u062f\u060c \u062d\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0627\u0633\u062a.<\/p>\n

\"\u0645\u0647\u0646\u062f\u0633\u0627\u0646<\/p>\n

\u06a9\u0627\u0631\u0628\u0631\u062f\u0647\u0627 \u0648 \u0631\u0648\u0646\u062f\u0647\u0627\u06cc \u062c\u0647\u0627\u0646\u06cc RTO<\/h2>\n

\u06cc\u06a9\u06cc \u0627\u0632 \u0645\u0647\u0646\u062f\u0633\u0627\u0646 \u0627\u0632 \u062a\u062c\u0631\u0628\u0647 \u0634\u062e\u0635\u06cc \u062e\u0648\u062f \u062f\u0631 \u06a9\u0627\u0631 \u0628\u0631 \u0631\u0648\u06cc \u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0627\u06cc\u060c \u067e\u0631\u0648\u0698\u0647\u200c\u0627\u06cc \u062f\u0631 \u0622\u06cc\u0646\u062f\u0647\u0648\u0648\u0646 \u0631\u0627 \u0628\u0647 \u06cc\u0627\u062f \u0645\u06cc\u200c\u0622\u0648\u0631\u062f \u06a9\u0647 \u062f\u0631 \u0622\u0646 \u0627\u062f\u063a\u0627\u0645 \u06cc\u06a9 RTO\u060c \u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 \u0633\u0627\u0644\u0627\u0646\u0647 VOC \u0631\u0627 \u0628\u0647 \u0645\u06cc\u0632\u0627\u0646 \u06f9\u06f5\u06f1TP\u06f3T \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u062f\u0627\u062f \u0648 \u0628\u0647 \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647 \u0627\u062c\u0627\u0632\u0647 \u062f\u0627\u062f \u0628\u062f\u0648\u0646 \u0645\u062c\u0648\u0632\u0647\u0627\u06cc \u062c\u062f\u06cc\u062f \u06af\u0633\u062a\u0631\u0634 \u06cc\u0627\u0628\u062f. \u062f\u0631 \u0645\u0648\u0631\u062f \u062f\u06cc\u06af\u0631\u06cc \u062f\u0631 \u0644\u0648\u0648\u0646\u060c \u0628\u0644\u0698\u06cc\u06a9\u060c \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645 \u06af\u0631\u0645\u0627\u06cc \u06a9\u0627\u0641\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062c\u0628\u0631\u0627\u0646 \u06f3\u06f0\u06f1TP\u06f3T \u0647\u0632\u06cc\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u06af\u0631\u0645\u0627\u06cc\u0634 \u0628\u0627\u0632\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u06a9\u0631\u062f \u06a9\u0647 \u0645\u0632\u0627\u06cc\u0627\u06cc \u0639\u0645\u0644\u06cc \u0622\u0646 \u0631\u0627 \u062f\u0631 \u0622\u0628 \u0648 \u0647\u0648\u0627\u06cc \u0633\u0631\u062f \u0646\u0634\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u062f.<\/p>\n

\u0645\u0648\u0627\u0631\u062f \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0648\u062c\u0648\u062f \u062f\u0627\u0631\u062f: \u062f\u0631 \u067e\u0627\u0631\u06a9 \u0639\u0644\u0645\u06cc \u0647\u0633\u06cc\u0646\u0686\u0648 \u062a\u0627\u06cc\u0648\u0627\u0646\u060c RTO\u0647\u0627 \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u06af\u0631\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u06f5 \u0646\u0627\u0646\u0648\u0645\u062a\u0631\u06cc \u0645\u062f\u06cc\u0631\u06cc\u062a \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f \u0648 \u0645\u06cc\u0632\u0627\u0646 \u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631 \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u06af\u0644\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0627\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0647 \u0632\u06cc\u0631 \u06f1\u06f0 \u0645\u06cc\u0644\u06cc\u200c\u06af\u0631\u0645 \u0628\u0631 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628 \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u0646\u062f. \u06cc\u06a9 \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647 \u06a9\u0631\u0647\u200c\u0627\u06cc \u062f\u0631 \u067e\u06cc\u0648\u0646\u06af\u062a\u0627\u0626\u06a9 \u0627\u0632 \u0622\u0646\u0647\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc EUV \u0628\u0627 \u0645\u0634\u0639\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0633\u0641\u0627\u0631\u0634\u06cc \u06a9\u0645 NOx \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f. \u0633\u0627\u06cc\u062a\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0622\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u0627\u06cc\u06cc \u062f\u0631 \u0622\u0631\u06cc\u0632\u0648\u0646\u0627 \u0627\u0632 RTO\u0647\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u063a\u0648\u0637\u0647\u200c\u0648\u0631\u06cc ArF \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642 \u0628\u0627 \u0645\u0646\u0627\u0637\u0642 \u0647\u0648\u0627\u06cc\u06cc \u0645\u062d\u0644\u06cc \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f.<\/p>\n

\u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a \u0698\u0627\u067e\u0646\u06cc \u062f\u0631 \u0647\u06cc\u0631\u0648\u0634\u06cc\u0645\u0627 RTO\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0627 \u0627\u0633\u06a9\u0631\u0627\u0628\u0631\u0647\u0627\u06cc \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u0627\u0633\u06cc\u062f\u06cc \u062d\u0627\u0635\u0644 \u0627\u0632 \u062a\u0648\u0633\u0639\u0647 \u0627\u062f\u063a\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0686\u06cc\u0646\u06cc \u062f\u0631 \u067e\u06a9\u0646 \u0627\u0632 \u0622\u0646\u0647\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc DUV \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f \u0648 \u0627\u0633\u062a\u0627\u0646\u062f\u0627\u0631\u062f\u0647\u0627\u06cc \u0645\u0644\u06cc \u0631\u0627 \u0631\u0639\u0627\u06cc\u062a \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0627\u0633\u0631\u0627\u0626\u06cc\u0644\u06cc \u062f\u0631 \u06a9\u06cc\u0631\u06cc\u0627\u062a \u06af\u0627\u062a RTO\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0648\u06cc\u0641\u0631\u0647\u0627\u06cc \u062a\u062e\u0635\u0635\u06cc \u0628\u0647 \u06a9\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u200c\u0628\u0631\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0627\u062a\u0627\u0642\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062a\u0645\u06cc\u0632 \u0633\u0646\u06af\u0627\u067e\u0648\u0631 \u062f\u0631 \u062c\u0648\u0631\u0648\u0646\u06af \u062f\u0627\u0631\u0627\u06cc RTO\u0647\u0627\u06cc \u062c\u0645\u0639\u200c\u0648\u062c\u0648\u0631 \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f. \u0633\u0627\u06cc\u062a\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0645\u0627\u0644\u0632\u06cc \u062f\u0631 \u0628\u0627\u06cc\u0627\u0646 \u0644\u067e\u0627\u0633\u060c \u06af\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u062e\u0631\u0648\u062c\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0647 \u0637\u0648\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u0622\u0645\u062f\u06cc \u062f\u0641\u0639 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0627\u06cc\u0631\u0644\u0646\u062f\u06cc \u062f\u0631 \u062f\u0648\u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0627\u0632 RTO\u0647\u0627\u06cc \u0628\u0627\u0632\u06cc\u0627\u0641\u062a \u0627\u0646\u0631\u0698\u06cc \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0645\u0631\u0627\u06a9\u0632 \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642 \u0648 \u062a\u0648\u0633\u0639\u0647 \u0641\u0646\u0644\u0627\u0646\u062f \u062f\u0631 \u0627\u0633\u067e\u0648\u060c RTO\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0646\u0633\u0644 \u0628\u0639\u062f\u06cc \u0628\u0631\u0631\u0633\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0627\u062a\u0631\u06cc\u0634\u06cc \u062f\u0631 \u0641\u06cc\u0644\u0627\u062e\u060c \u0622\u0646\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0646\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u062f\u06cc\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0642\u062f\u0631\u062a \u0628\u0647 \u06a9\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u200c\u06af\u06cc\u0631\u0646\u062f. \u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a \u0627\u0633\u067e\u0627\u0646\u06cc\u0627\u06cc\u06cc \u062f\u0631 \u0628\u0627\u0631\u0633\u0644\u0648\u0646\u0627 \u0628\u0631 \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u0647\u0632\u06cc\u0646\u0647-\u0627\u062b\u0631\u0628\u062e\u0634 \u062a\u0645\u0631\u06a9\u0632 \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0645\u0631\u0627\u06a9\u0632 \u0646\u0648\u0638\u0647\u0648\u0631 \u0644\u0647\u0633\u062a\u0627\u0646\u06cc \u062f\u0631 \u0648\u0631\u0648\u062a\u0633\u0648\u0627\u0641\u060c RTO\u0647\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0647 \u06a9\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u200c\u06af\u06cc\u0631\u0646\u062f. \u0633\u0627\u06cc\u062a\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0686\u06a9 \u062f\u0631 \u0628\u0631\u0646\u0648 \u0627\u0632 \u0622\u0646\u0647\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062d\u0633\u06af\u0631\u0647\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f. \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u067e\u0631\u062a\u063a\u0627\u0644\u06cc \u062f\u0631 \u067e\u0648\u0631\u062a\u0648 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0627\u0644\u06a9\u062a\u0631\u0648\u0646\u06cc\u06a9 \u0627\u062f\u063a\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u200c\u0634\u0648\u0646\u062f.<\/p>\n

\u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0633\u0648\u0626\u06cc\u0633\u06cc \u062f\u0631 \u0646\u0648\u0634\u0627\u062a\u0644 \u0628\u0631 \u06a9\u0646\u062a\u0631\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062f\u0642\u06cc\u0642 RTO \u062a\u0623\u06a9\u06cc\u062f \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f. \u0633\u0627\u06cc\u062a\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0633\u0648\u0626\u062f\u06cc \u062f\u0631 \u0627\u0633\u062a\u06a9\u0647\u0644\u0645 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u062a\u0631\u0627\u0634\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0645\u062e\u0627\u0628\u0631\u0627\u062a\u06cc \u062f\u0631\u062e\u0648\u0627\u0633\u062a \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u0646\u062f. \u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a \u0646\u0631\u0648\u0698\u06cc \u062f\u0631 \u0627\u0633\u0644\u0648 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u0628\u06cc\u062f \u0633\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0627\u0633\u062a\u0641\u0627\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f.<\/p>\n

\u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642 \u0648 \u062a\u0648\u0633\u0639\u0647 \u062f\u0627\u0646\u0645\u0627\u0631\u06a9 \u062f\u0631 \u0622\u0644\u0628\u0648\u0631\u06af \u0627\u0632 \u062a\u062e\u0635\u0635 \u0647\u0644\u0646\u062f\u06cc \u0628\u0647\u0631\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u0628\u0631\u062f. \u0627\u06cc\u0646 \u0645\u0648\u0627\u0631\u062f\u060c \u062a\u0637\u0628\u06cc\u0642\u200c\u067e\u0630\u06cc\u0631\u06cc RTO \u0631\u0627 \u062f\u0631 \u0686\u0634\u0645\u200c\u0627\u0646\u062f\u0627\u0632\u0647\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u062c\u0647\u0627\u0646\u06cc \u0646\u0634\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0627\u062c\u0632\u0627\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u0634\u0627\u0645\u0644 \u0634\u06cc\u0631\u0647\u0627\u06cc \u067e\u0627\u067e\u062a \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0633\u0648\u0626\u06cc\u0686\u06cc\u0646\u06af \u06af\u0627\u0632 \u0627\u0633\u062a \u06a9\u0647 \u0628\u0627 \u0622\u0628\u200c\u0628\u0646\u062f\u06cc \u0645\u0646\u0627\u0633\u0628 \u0628\u06cc\u0634 \u0627\u0632 10 \u0633\u0627\u0644 \u062f\u0648\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u200c\u0622\u0648\u0631\u0646\u062f. \u0628\u0633\u062a\u0631\u0647\u0627\u06cc \u0633\u0631\u0627\u0645\u06cc\u06a9\u06cc\u060c \u0633\u0627\u062e\u062a\u0647 \u0634\u062f\u0647 \u0627\u0632 \u06a9\u0648\u0631\u062f\u06cc\u0631\u06cc\u062a \u06cc\u0627 \u0645\u0648\u0644\u0627\u06cc\u062a\u060c \u0638\u0631\u0641\u06cc\u062a \u062d\u0631\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0628\u0627\u0644\u0627 \u0648 \u0627\u0641\u062a \u0641\u0634\u0627\u0631 \u06a9\u0645 \u0631\u0627 \u0641\u0631\u0627\u0647\u0645 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f \u0648 \u0647\u0631 5 \u0633\u0627\u0644 \u06cc\u06a9\u0628\u0627\u0631 \u062a\u0639\u0648\u06cc\u0636 \u0645\u06cc\u200c\u0634\u0648\u0646\u062f. \u0645\u0634\u0639\u0644\u200c\u0647\u0627\u060c \u06a9\u0647 \u0627\u063a\u0644\u0628 \u0627\u0632 \u0646\u0648\u0639 \u06a9\u0645 NOx \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f\u060c \u0627\u062d\u062a\u0631\u0627\u0642 \u067e\u0627\u06cc\u062f\u0627\u0631 \u0631\u0627 \u062a\u0636\u0645\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0642\u0637\u0639\u0627\u062a\u06cc \u06a9\u0647 \u0628\u0647 \u0631\u0627\u062d\u062a\u06cc \u0633\u0627\u06cc\u06cc\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u0634\u0648\u0646\u062f \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u0648\u0627\u0634\u0631\u0647\u0627 \u0648 \u062d\u0633\u06af\u0631\u0647\u0627 \u0646\u06cc\u0627\u0632 \u0628\u0647 \u0628\u0631\u0631\u0633\u06cc\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0641\u0635\u0644\u06cc \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f. \u0645\u0648\u062a\u0648\u0631\u0647\u0627\u06cc \u0645\u062d\u0631\u06a9 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0634\u06cc\u0631\u0647\u0627 \u0645\u0642\u0627\u0648\u0645 \u0648 \u062f\u0627\u0631\u0627\u06cc \u0627\u0641\u0632\u0648\u0646\u06af\u06cc \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f. \u0645\u0628\u062f\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062d\u0631\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0627\u0646\u0631\u0698\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0627\u0632\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f \u0648 \u0627\u0632 \u0641\u0648\u0644\u0627\u062f \u0636\u062f \u0632\u0646\u06af \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0645\u0642\u0627\u0648\u0645\u062a \u062f\u0631 \u0628\u0631\u0627\u0628\u0631 \u062e\u0648\u0631\u062f\u06af\u06cc \u0633\u0627\u062e\u062a\u0647 \u0634\u062f\u0647\u200c\u0627\u0646\u062f.<\/p>\n

\"\u0646\u0645\u0648\u062f\u0627\u0631<\/p>\n

\u0622\u06cc\u0646\u062f\u0647 RTO\u0647\u0627 \u0648 \u0646\u0648\u0622\u0648\u0631\u06cc\u200c\u0647\u0627 \u062f\u0631 \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc<\/h2>\n

\u0647\u0646\u06af\u0627\u0645 \u0645\u0642\u0627\u06cc\u0633\u0647 \u0628\u0631\u0646\u062f\u0647\u0627\u060c \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645\u200c\u0647\u0627\u06cc\u06cc \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u0633\u06cc\u0633\u062a\u0645\u200c\u0647\u0627\u06cc D\u00fcrr \u0637\u0631\u062d\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0642\u062f\u0631\u062a\u0645\u0646\u062f\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u0631\u0627\u0626\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u0646\u062f \u06a9\u0647 \u0627\u063a\u0644\u0628 \u062f\u0627\u0631\u0627\u06cc \u0627\u0633\u06a9\u0631\u0627\u0628\u0631\u0647\u0627\u06cc \u06cc\u06a9\u067e\u0627\u0631\u0686\u0647 \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f. Anguil \u067e\u06cc\u06a9\u0631\u0628\u0646\u062f\u06cc\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0627\u0646\u0639\u0637\u0627\u0641\u200c\u067e\u0630\u06cc\u0631\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0628\u0627\u0631\u0647\u0627\u06cc \u06af\u0627\u0632\u06cc \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u0627\u0631\u0627\u0626\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u062f. (\u062a\u0648\u062c\u0647: \u062a\u0645\u0627\u0645 \u0646\u0627\u0645\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0633\u0627\u0632\u0646\u062f\u0647 \u0648 \u0634\u0645\u0627\u0631\u0647 \u0642\u0637\u0639\u0627\u062a \u0641\u0642\u0637 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0627\u0647\u062f\u0627\u0641 \u0645\u0631\u062c\u0639 \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f. EVER-POWER \u06cc\u06a9 \u062a\u0648\u0644\u06cc\u062f\u06a9\u0646\u0646\u062f\u0647 \u0645\u0633\u062a\u0642\u0644 \u0627\u0633\u062a.) \u067e\u06cc\u0634\u0646\u0647\u0627\u062f\u0627\u062a \u0645\u0627 \u0627\u0632 \u0646\u0638\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u0627\u06cc\u06cc \u0628\u0627 \u0627\u06cc\u0646 \u0645\u0648\u0627\u0631\u062f \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642\u062a \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f\u060c \u0627\u0645\u0627 \u0628\u0627 \u0633\u0627\u0632\u06af\u0627\u0631\u06cc\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0645\u062a\u0646\u0627\u0633\u0628 \u0628\u0627 \u0645\u0642\u0631\u0631\u0627\u062a \u0647\u0644\u0646\u062f\u060c \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u06a9\u0646\u062a\u0631\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u067e\u06cc\u0634\u0631\u0641\u062a\u0647 NOx \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0631\u0633\u06cc\u062f\u0646 \u0628\u0647 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f\u06cc\u062a\u200c\u0647\u0627\u06cc <50 \u0645\u06cc\u0644\u06cc\u200c\u06af\u0631\u0645 \u062f\u0631 \u0645\u062a\u0631 \u0645\u06a9\u0639\u0628.<\/p>\n

\u0628\u0627 \u0627\u0641\u0632\u0648\u062f\u0646 \u0627\u0641\u06a9\u0627\u0631 \u0646\u0648\u0622\u0648\u0631\u0627\u0646\u0647\u060c \u0627\u062f\u063a\u0627\u0645 \u0647\u0648\u0634 \u0645\u0635\u0646\u0648\u0639\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0646\u06af\u0647\u062f\u0627\u0631\u06cc \u067e\u06cc\u0634\u200c\u0628\u06cc\u0646\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u062a\u0648\u0627\u0646\u062f \u0631\u0633\u0648\u0628 \u0628\u0633\u062a\u0631 \u0627\u0632 \u0628\u0642\u0627\u06cc\u0627\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0631\u0627 \u067e\u06cc\u0634\u200c\u0628\u06cc\u0646\u06cc \u06a9\u0646\u062f \u0648 \u0639\u0645\u0631 \u0631\u0627 \u062a\u0627 20% \u0627\u0641\u0632\u0627\u06cc\u0634 \u062f\u0647\u062f. \u062a\u0646\u0638\u06cc\u0645\u0627\u062a \u062a\u0631\u06a9\u06cc\u0628\u06cc RTO-RCO \u0645\u06cc\u200c\u062a\u0648\u0627\u0646\u062f \u062f\u0645\u0627 \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0635\u0631\u0641\u0647\u200c\u062c\u0648\u06cc\u06cc \u062f\u0631 \u0627\u0646\u0631\u0698\u06cc \u062f\u0631 \u0632\u0645\u0633\u062a\u0627\u0646\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0645\u0639\u062a\u062f\u0644 \u0647\u0644\u0646\u062f \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u062f\u0647\u062f. \u0628\u0644\u0627\u06a9\u0686\u06cc\u0646 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0631\u062f\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u0627\u0646\u062a\u0634\u0627\u0631\u060c \u06af\u0632\u0627\u0631\u0634 \u0634\u0641\u0627\u0641 \u0627\u0646\u0637\u0628\u0627\u0642 \u0631\u0627 \u062a\u0636\u0645\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u062f \u0648 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u0647\u200c\u06af\u0630\u0627\u0631\u0627\u0646 \u067e\u0627\u06cc\u062f\u0627\u0631 \u062f\u0631 \u0635\u062d\u0646\u0647 \u0641\u0646\u0627\u0648\u0631\u06cc \u0622\u0645\u0633\u062a\u0631\u062f\u0627\u0645 \u062c\u0630\u0627\u0628 \u0627\u0633\u062a.<\/p>\n

\u0628\u0627 \u0628\u0631\u0631\u0633\u06cc \u0628\u06cc\u0634\u062a\u0631\u060c \u062f\u0631 \u0644\u06cc\u062a\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u060c RTO\u0647\u0627 \u0645\u06cc\u200c\u062a\u0648\u0627\u0646\u0646\u062f \u0628\u0627 \u0627\u0633\u06a9\u0631\u0627\u0628\u0631\u0647\u0627\u06cc \u067e\u0644\u0627\u0633\u0645\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0647\u0627\u0644\u0648\u0698\u0646\u200c\u0647\u0627\u06cc \u06a9\u0645\u06cc\u0627\u0628 \u0627\u0632 \u0645\u0631\u0627\u062d\u0644 \u062d\u06a9\u0627\u06a9\u06cc \u062c\u0641\u062a \u0634\u0648\u0646\u062f\u060c \u0627\u06af\u0631\u0686\u0647 \u062a\u0645\u0631\u06a9\u0632 \u0627\u0635\u0644\u06cc \u0628\u06cc\u0634\u062a\u0631 \u0628\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u0622\u0644\u06cc \u0627\u0633\u062a. \u0639\u0627\u06cc\u0642\u200c\u0628\u0646\u062f\u06cc \u0633\u0641\u0627\u0631\u0634\u06cc\u060c \u0627\u062a\u0644\u0627\u0641 \u06af\u0631\u0645\u0627 \u0631\u0627 \u062f\u0631 \u062a\u0623\u0633\u06cc\u0633\u0627\u062a \u0633\u0627\u062d\u0644\u06cc \u0647\u0644\u0646\u062f \u06a9\u0647 \u0645\u0633\u062a\u0639\u062f \u0628\u0627\u062f \u0647\u0633\u062a\u0646\u062f\u060c \u06a9\u0627\u0647\u0634 \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u062f. \u0637\u0631\u062d\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0645\u0627\u0698\u0648\u0644\u0627\u0631 \u0627\u0645\u06a9\u0627\u0646 \u0645\u0642\u06cc\u0627\u0633\u200c\u067e\u0630\u06cc\u0631\u06cc \u0631\u0627 \u0628\u0631\u0627\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u062e\u0627\u0646\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062f\u0631 \u062d\u0627\u0644 \u0631\u0634\u062f \u0645\u0627\u0646\u0646\u062f \u0637\u0631\u062d\u200c\u0647\u0627\u06cc \u062a\u0648\u0633\u0639\u0647 ASML \u0641\u0631\u0627\u0647\u0645 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0627\u0632 \u0646\u0642\u0637\u0647 \u0646\u0638\u0631 \u0639\u0645\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc\u060c \u0628\u0631\u0646\u0627\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0622\u0645\u0648\u0632\u0634\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06cc \u0645\u0647\u0646\u062f\u0633\u0627\u0646 \u0647\u0644\u0646\u062f\u06cc \u0628\u0631 \u062c\u0627\u0628\u062c\u0627\u06cc\u06cc \u0627\u06cc\u0645\u0646 \u062d\u0644\u0627\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0634\u062a\u0639\u0627\u0644 \u062a\u0623\u06a9\u06cc\u062f \u062f\u0627\u0631\u0646\u062f \u06a9\u0647 \u0628\u0631\u06af\u0631\u0641\u062a\u0647 \u0627\u0632 \u067e\u0631\u0648\u062a\u06a9\u0644\u200c\u0647\u0627\u06cc \u0627\u06cc\u0645\u0646\u06cc \u0646\u0641\u062a \u062f\u0631\u06cc\u0627\u06cc \u0634\u0645\u0627\u0644 \u0627\u0633\u062a. \u062a\u062c\u0632\u06cc\u0647 \u0648 \u062a\u062d\u0644\u06cc\u0644 \u0647\u0632\u06cc\u0646\u0647-\u0641\u0627\u06cc\u062f\u0647 \u0646\u0634\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u200c\u062f\u0647\u062f \u06a9\u0647 RTO\u0647\u0627 \u062f\u0631 \u0639\u0631\u0636 \u06f3 \u062a\u0627 \u06f5 \u0633\u0627\u0644 \u0627\u0632 \u0637\u0631\u06cc\u0642 \u0635\u0631\u0641\u0647\u200c\u062c\u0648\u06cc\u06cc \u062f\u0631 \u0627\u0646\u0631\u0698\u06cc \u0648 \u062c\u0644\u0648\u06af\u06cc\u0631\u06cc \u0627\u0632 \u062c\u0631\u06cc\u0645\u0647\u200c\u0647\u0627\u060c \u0628\u0627\u0632\u06af\u0634\u062a \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u0647 \u0645\u06cc\u200c\u06a9\u0646\u0646\u062f.<\/p>\n

\u0628\u0631\u0627\u06cc \u062a\u0647\u0648\u06cc\u0647 \u0633\u0641\u0627\u0631\u0634\u06cc\u060c \u0627\u0632 \u062a\u06cc\u0645 \u0631\u0648\u062a\u0631\u062f\u0627\u0645 \u0645\u0627 \u06a9\u0645\u06a9 \u0628\u06af\u06cc\u0631\u06cc\u062f \u0622\u0631 \u062a\u06cc \u0627\u0648<\/a> \u0628\u0631\u0646\u0627\u0645\u0647\u200c\u0631\u06cc\u0632\u06cc \u06a9\u0646\u06cc\u062f \u0648 \u0639\u0645\u0644\u06cc\u0627\u062a \u062e\u0648\u062f \u0631\u0627 \u0628\u0627 \u0642\u0627\u0628\u0644\u06cc\u062a \u0627\u0637\u0645\u06cc\u0646\u0627\u0646 \u0627\u062b\u0628\u0627\u062a\u200c\u0634\u062f\u0647 \u0645\u062d\u0627\u0641\u0638\u062a \u06a9\u0646\u06cc\u062f.<\/p>\n

 <\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

In the heart of Europe’s innovation hub, the Netherlands stands as a global leader in semiconductor technology, driven by companies like ASML that pioneer extreme ultraviolet lithography systems. This precision-driven industry, focused on wafer patterning and photoresist application, generates specific waste gases that demand reliable abatement to maintain cleanroom integrity and environmental responsibility. Regenerative Thermal […]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_et_pb_use_builder":"","_et_pb_old_content":"","_et_gb_content_width":"","footnotes":""},"categories":[1],"tags":[],"class_list":["post-2011","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-uncategorized"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2011","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2011"}],"version-history":[{"count":4,"href":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2011\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2099,"href":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2011\/revisions\/2099"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2011"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2011"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/regenerative-thermal-oxidation.com\/fa\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2011"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}