Optimalisatie van de afvalgasbehandeling in de Nederlandse halfgeleiderlithografie met behulp van geavanceerde RTO-technologie.

In het hart van Europa's innovatiecentrum staat Nederland wereldwijd bekend als een toonaangevende speler in de halfgeleidertechnologie, mede dankzij bedrijven zoals ASML die baanbrekend werk verrichten op het gebied van extreem ultraviolette lithografiesystemen. Deze precisiegedreven industrie, gericht op het patroonvormen van wafers en...