குறைக்கடத்தி உற்பத்தி ஆலைகளின் (ஃபேப்ஸ்) மிகவும் சுத்தமான சூழலில், கழிவுநீர் வாயு மேலாண்மையின் சிக்கலானது நிலையான தொழில்துறை விதிமுறைகளை மீறுகிறது. ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், ஒளிமின்னழுத்தங்கள் மற்றும் காட்சி பேனல்களின் உற்பத்தி ஒரு பன்முகத்தன்மை கொண்ட காக்டெய்லை உருவாக்குகிறது ஆவியாகும் கரிம சேர்மங்கள் (VOCs), கனிம அமில மூடுபனிகள் மற்றும் சிறப்பு செயல்முறை வாயுக்கள். தி மீளுருவாக்க வெப்ப ஆக்ஸிஜனேற்றி (RTO) இந்த சிக்கலான நீரோடைகளுக்கு சிகிச்சையளிப்பதற்கான தங்கத் தரமாக உருவெடுத்துள்ளது, முதன்மையாக அதன் வெப்ப மீள்தன்மை மற்றும் விதிவிலக்கான அழிவு நீக்கும் திறன் (DRE) காரணமாக.
மின்னணுத் துறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு RTO என்பது "வெளியேறக்கூடிய" அலகு அல்ல; இது ஒரு உயர்-துல்லியமான வெப்ப வேதியியல் உலை. இது செயல்முறை வெளியேற்றத்தின் வெப்பநிலையை தோராயமாக 850°C ஆக உயர்த்துவதன் மூலம் செயல்படுகிறது, அங்கு PGMEA, NMP மற்றும் IPA போன்ற ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் கரைப்பான்கள் உட்பட ஹைட்ரோகார்பன்கள் ஆக்ஸிஜனேற்ற ரீதியாக CO₂ மற்றும் H₂O ஆக சிதைக்கப்படுகின்றன. ஒருங்கிணைப்பு உயர் தூய்மை பீங்கான் ஒற்றைக்கல்கள் 95-97% வெப்ப மீட்பு செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது, இது 24/7 இயங்கும் வசதிகளில் செயல்பாட்டு செலவினங்களைக் (OPEX) குறைப்பதற்கு மிகவும் முக்கியமானது. மேலும், மின்னணு உற்பத்திக்கு, RTO பெரும்பாலும் இரட்டை-நிலை ஈரமான ஸ்க்ரப்பர்கள் ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறைக்கு முன் அல்லது பின் HF, HCl மற்றும் NOx போன்ற அரிக்கும் துணைப் பொருட்களை நடுநிலையாக்க.
சிறப்பு மின்னணு வெளியேற்றத்திற்கு RTO ஏன் விரும்பப்படுகிறது? பதில் அதன் கையாளும் திறனில் உள்ளது அதிக அளவு, குறைந்த செறிவு அதீத நம்பகத்தன்மை கொண்ட நீரோடைகள். CMN Industry Inc. இல், உள்ளூர் சுற்றுச்சூழல் நிறுவனங்களால் தேவைப்படும் 10mg/m³ க்கும் குறைவான உமிழ்வு வரம்புகளை பூர்த்தி செய்வது மட்டுமல்லாமல், ஆலையின் பரந்த நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப மீட்பு நெட்வொர்க்குகள், சிப் தயாரிக்கும் செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த கார்பன் தடயத்தைக் குறைக்கின்றன.
உயர் தொழில்நுட்ப உற்பத்திக்கான RTO முக்கிய தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்
குறைக்கடத்தித் துறையில், "செயல்திறன்" என்பது பாகங்கள்-ஒரு-பில்லியனுக்கு (ppb) என்ற அளவில் அளவிடப்படுகிறது. Fab வெளியேற்றத்தின் ஆக்கிரமிப்பு வேதியியலைக் கையாள எங்கள் RTO அளவுருக்கள் உன்னிப்பாக அளவீடு செய்யப்படுகின்றன:
| தொழில்நுட்ப அளவுரு | குறைக்கடத்தி தர விவரக்குறிப்பு | மின்னணு உற்பத்தியில் தாக்கம் |
|---|---|---|
| எரிப்பு வெப்பநிலை | 850°C – 1050°C | N-Methyl-2-pyrrolidone (NMP) போன்ற பயனற்ற கரைப்பான்களின் மொத்த முறிவை உறுதி செய்கிறது. |
| வெப்ப செயல்திறன் (TER) | 95% – 97% | முக்கியமானவை RTO废气处理设备热回收效率 ஆற்றல் மிகுந்த சுத்தமான அறைகளில். |
| அழிவு நீக்குதல் திறன் | ≥ 99.5% | சந்திக்கிறது 高温热氧化器VOC处理效率 மிகக் குறைந்த உமிழ்வு ஃபேப்களுக்கான அளவுகோல்கள். |
| பொருள் தேர்வு | 316L SS / ஹேஸ்டெல்லாய் / PTFE லைனிங் | ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் (HF) அல்லது ஹைட்ரோகுளோரிக் (HCl) அமிலத்தின் சிறிய அளவுகளால் ஏற்படும் அரிப்பைத் தடுக்கிறது. |
| காற்றோட்ட வரம்பு | 5,000 – 150,000 Nm³/மணி | GIGA-ஃபேப்களின் மையப்படுத்தப்பட்ட வெளியேற்ற அமைப்புகளுக்கு அளவிடக்கூடியது. |
| வால்வு மாறுதல் வேகம் | < 1.5 வினாடிகள் | அதிவேக பாப்பட் வால்வுகள், உணர்திறன் வாய்ந்த அப்ஸ்ட்ரீம் சுத்தமான அறை சூழல்களில் அழுத்த ஏற்ற இறக்கங்களைக் குறைக்கின்றன. |
இந்த அளவுருக்கள் பின்வருவனவற்றைப் பின்பற்றுகின்றன: செமி எஸ்2 பாதுகாப்பு வழிகாட்டுதல்கள் மற்றும் சர்வதேச சுற்றுச்சூழல் தரநிலைகள், எடுத்துக்காட்டாக US EPA முறை 25A. CFD (கணக்கீட்டு திரவ இயக்கவியல்) மாதிரியைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், நச்சு கரிம முன்னோடிகளின் பூஜ்ஜிய-பைபாஸுக்கு குடியிருப்பு நேரம் உகந்ததாக்கப்படுவதை நாங்கள் உறுதிசெய்கிறோம்.
சூழ்நிலை பண்புகள்: மின்னணு கழிவு வாயு குறைப்பில் உள்ள சவால்கள்
மின்னணு உற்பத்தி சூழ்நிலை பின்வருமாறு வகைப்படுத்தப்படுகிறது தீவிர வேதியியல் பன்முகத்தன்மைஒரு பெயிண்ட் கடையைப் போலன்றி, ஒவ்வொரு லித்தோகிராஃபி அல்லது எட்சிங் சுழற்சியிலும் ஒரு ஃபேப்பின் வெளியேற்ற சுயவிவரம் மாறுகிறது.
செயல்பாட்டு தகுதிகள்
- தன்னியக்க வெப்ப நிலைத்தன்மை: நீர்த்த VOC-களுடன் கூட, மீளுருவாக்கம் செய்யும் படுக்கைகள் வெப்ப மந்தநிலையைப் பராமரிக்கின்றன, இதனால் இயற்கை எரிவாயு தேவை வெகுவாகக் குறைக்கப்படுகிறது.
- அளவிடக்கூடிய ஒருங்கிணைப்பு: RTOக்கள் ஜியோலைட் செறிவு ரோட்டர்களுடன் (转轮浓缩) எளிதாக இடைமுகம் செய்கின்றன, இது ஒப்பீட்டளவில் சிறிய எரிப்பு அறையுடன் பாரிய காற்றோட்டங்களைச் சிகிச்சையளிக்க அனுமதிக்கிறது.
வரம்புகள் மற்றும் பொறியியல் தீர்வுகள்
ஒரு முதன்மைக் கட்டுப்பாடு இருப்பது சிலோக்சேன்கள் அல்லது சிலிக்கான் அடிப்படையிலான வாயுக்கள், எரிப்பு போது SiO₂ (திடப் பொடி) உருவாகலாம், பீங்கான் ஊடகங்களை அடைக்கக்கூடும். சிறப்பு வாய்ந்தவற்றை இணைப்பதன் மூலம் இதை நாங்கள் தீர்க்கிறோம். அதிக திறன் கொண்ட பீங்கான் சேணங்கள் இது எளிதான சுத்தம் மற்றும் அதிகரித்த துகள் சகிப்புத்தன்மையை எளிதாக்குகிறது, மேலும் மேம்பட்ட அப்ஸ்ட்ரீம் வடிகட்டுதலுடன்.
RTO அமைப்பு கூறுகள் & சிறப்பு சுற்றுச்சூழல் அமைப்பு
குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு, கூறு நம்பகத்தன்மை பேச்சுவார்த்தைக்கு உட்பட்டது அல்ல. CMN Industry Inc. பின்வரும் சிறப்பு சுற்றுச்சூழல் அமைப்பைப் பரிந்துரைக்கிறது:
- பீங்கான் வெப்ப ஊடகம்: அமில எதிர்ப்பிற்கான சிறப்பு பூச்சுகளுடன் கூடிய ஒற்றைக்கல் தேன்கூடு கட்டமைப்புகள்.
- ஈரமான ஸ்க்ரப்பர் ஒருங்கிணைப்பு: துகள்கள்/அமில நீக்கத்திற்கான முன்-RTO ஸ்க்ரப்பர்கள் மற்றும் NOx/SOx தணிப்புக்கான பிந்தைய RTO ஸ்க்ரப்பர்கள்.
- LEL கண்காணிப்பு: கரைப்பான் கூர்முனைகளின் போது பாதுகாப்பு சம்பவங்களைத் தடுக்க அதிவேக பதில் குறைந்த வெடிப்பு வரம்பு உணரிகள்.
- ஜியோலைட் செறிவு சுழலி: RTO-விற்குள் நுழைவதற்கு முன்பு, மிகவும் நீர்த்த சுத்தமான அறைக் காற்றைச் செறிவூட்டுவதற்கு இது அவசியம்.
ஒப்பீட்டு பகுப்பாய்வு: குறைக்கடத்திக்கான உலகளாவிய RTO பிராண்டுகள்
| பிராண்ட் | முக்கிய போட்டித்திறன் | பிராந்திய ஆதிக்கம் | விலை / மதிப்பு குறியீடு |
|---|---|---|---|
| டூர் (எகோப்யூர்) | மிகப்பெரிய காற்றோட்ட கையாளுதல்; உயர்நிலை ஆட்டோமேஷன். | ஐரோப்பா, நா, சீனா (அடுக்கு-1 ஃபேப்ஸ்) | பிரீமியம் / அதிக விலை |
| தைகிஷா | மேற்பரப்பு தயாரிப்பு அலகுகளுடன் நேர்த்தியான ஒருங்கிணைப்பு. | ஜப்பான், தென்கிழக்கு ஆசியா | பிரீமியம் / நடுத்தர-உயர் |
| CMN தொழில் | அமில எதிர்ப்பு சிறப்பு; சுறுசுறுப்பான தனிப்பயனாக்கம். | உலகளாவிய (வேகமாக வளரும்) | நடுத்தர / அதிக ROI |
| அங்குயில் | கடுமையான இரசாயன சூழல்களில் உறுதித்தன்மை. | வட அமெரிக்கா | நடுத்தர-உயர் / நடுத்தர |
உள்ளூர் SEO: ஒழுங்குமுறை இணக்கம் & சந்தை ஊடுருவல்
சீனா / தைவான் (TSMC மையங்கள்) இணக்கம் என்பது ஜிபி 31572-2015 (குறைக்கடத்தித் தொழிலுக்கான மாசுபடுத்திகளின் உமிழ்வு தரநிலை). தைவானில், ஹ்சிஞ்சு அறிவியல் பூங்காவிற்கான EPA விதிமுறைகள் மொத்த கரிம கார்பன் (TOC) மற்றும் குறிப்பிட்ட அபாயகரமான காற்று மாசுபடுத்திகளை (HAPs) கடுமையாகக் கண்காணிப்பதைக் கோருகின்றன.
உலகளாவிய (அமெரிக்கா/ஐரோப்பிய ஒன்றியம்) தி அமெரிக்க EPA NESHAP குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் EU BREF மின்னணுவியல் துறையின் விதிகள், குறிப்பிட்ட ஈதர்கள் மற்றும் கீட்டோன்களுக்கு RTO அமைப்புகள் >98% அகற்றலை அடைய வேண்டும் என்று கட்டளையிடுகின்றன. எங்கள் அமைப்புகள் இந்த கடுமையான சுற்றுச்சூழல் தணிக்கைகளில் தேர்ச்சி பெறுவதற்கு முன் சான்றளிக்கப்பட்டுள்ளன.
தொழில்முறை கள அனுபவம் & சிறப்பு வழக்கு ஆய்வுகள்
குறைக்கடத்தி வெளியேற்றத்தை நிர்வகிப்பதில் "பூஜ்ஜிய-தவறு" மனநிலை தேவை. கிளையண்டின் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் செயல்முறை பயன்படுத்தப்பட்ட ஒரு திட்டம் எனக்கு நினைவிருக்கிறது. ஹெக்ஸாமெதில்டிசிலாசேன் (HMDS). சிலிக்கா படிவு காரணமாக, நிலையான RTO பீங்கான் ஊடகங்கள் சில மாதங்களுக்குள் தோல்வியடைந்திருக்கும். ஃபேப்பை மூடாமல் அவ்வப்போது "தூசி வீசும்" பராமரிப்பை அனுமதிக்கும் ஒரு தியாக பீங்கான் அடுக்கு மற்றும் செங்குத்து-ஓட்ட வடிவமைப்பை நாங்கள் செயல்படுத்தினோம்.
வழக்கு ஆய்வு 1: 300மிமீ வேஃபர் ஃபேப்ரிகேஷன் (ஷாங்காய், சீனா)
ஒரு முன்னணி லாஜிக் சிப் உற்பத்தியாளர் NMP மற்றும் PGMEA உமிழ்வுகளில் கடுமையான சிக்கல்களை எதிர்கொண்டார். தற்போதுள்ள சிகிச்சை முறை (வெப்ப எரியூட்டி) அதிகப்படியான இயற்கை எரிவாயுவை உட்கொண்டது மற்றும் 92% மட்டுமே DRE ஐக் கொண்டிருந்தது.
VOC: 1,500 மிகி/மீ³
எரிபொருள் நுகர்வு: $140k/மாதம்
இணக்கம்: விளிம்புநிலை
VOC: < 5 மி.கி/மீ³
எரிபொருள் நுகர்வு: $12k/மாதம்
டிஆர்இ: 99.8%
ஜியோலைட் கான்சென்ட்ரேட்டருடன் ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட CMN 3-டவர் RTO-விற்கு மேம்படுத்தப்பட்டதன் மூலம், இந்த வசதி உற்பத்தி சுழற்சியின் 90%-க்கு "தானியங்கி வெப்ப" நிலையை அடைந்தது. வருடாந்திர OPEX சேமிப்பு $1.5 மில்லியனைத் தாண்டியது, இது 24 மாதங்களுக்கும் குறைவான திருப்பிச் செலுத்தும் காலத்தை வழங்குகிறது.
வழக்கு ஆய்வு 2: OLED பேனல் உற்பத்தி (சியோனன், தென் கொரியா)
உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட OLED பேனல்களை தயாரிப்பதில் அசிட்டோன் மற்றும் எத்தனால் குறிப்பிடத்தக்க அளவில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. வசதி காற்றின் அளவு 120,000 Nm³/h ஆக இருந்தது.
காற்றோட்டம்: 120k Nm³/h
சிகிச்சை: எதுவுமில்லை (நீர்த்தல்)
நிலை: ஒழுங்குமுறை எச்சரிக்கை
அவுட்லெட் VOC: 10 மி.கி/மீ³
வெப்ப மீட்பு: நீர் சுழல்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கார்பன் கிரெடிட்: 4 ஆயிரம் டன்/ஆண்டு
நாங்கள் ஒரு மட்டு இரட்டை-RTO அமைப்பை வடிவமைத்தோம். இந்த பணிநீக்கம், ஒரு யூனிட்டுக்கு பராமரிப்பு தேவைப்பட்டால், Fab 50% திறனில் உற்பத்தியைத் தொடர முடியும் என்பதை உறுதிசெய்தது, மொத்த உற்பத்தி நிறுத்தத்தின் பேரழிவு செலவைத் தவிர்க்கிறது (இது OLED வரிகளில் ஒரு நாளைக்கு $5M ஐ விட அதிகமாக இருக்கலாம்).
வழக்கு ஆய்வு 3: PCB & HDI வாரிய உற்பத்தி (சுசோ, சீனா)
இந்த தொழிற்சாலை செம்பு பூசப்பட்ட லேமினேட்டுகளைப் பயன்படுத்தியது, இதனால் அதிக செறிவுள்ள பீனால் மற்றும் ஃபார்மால்டிஹைடு வெளியிடப்படுகிறது. இந்த வாயுக்கள் ஆக்சிஜனேற்றம் செய்வது கடினம் மற்றும் அதிக அரிக்கும் தன்மை கொண்டவை.
ஃபார்மால்டிஹைடு: 250 மி.கி/மீ³
துர்நாற்றத்தின் அளவு: கடுமையானது
ஃபார்மால்டிஹைடு: < 1 மி.கி/மீ³
இரண்டாம் நிலை வெப்பம்: அடுப்பில் உலர்த்துதல்
RTOவின் உயர் வெப்பநிலை மண்டலம் (950°C) பீனாலிக் ரெசின்களின் மொத்த வெப்ப விரிசலை உறுதி செய்தது. RTOவிலிருந்து எஞ்சிய வெப்பம் லேமினேஷன் அடுப்புகளுக்கு திருப்பி விடப்பட்டது, இதனால் தொழிற்சாலை அளவிலான ஆற்றல் தேவை 20% ஆகக் குறைந்தது.
ஆய்வு 4: ஃபோட்டோவோல்டாயிக் செல் உற்பத்தி (அமெரிக்கா, டெக்சாஸ்)
PV உற்பத்தி சிலேன் மற்றும் அம்மோனியாவைப் பயன்படுத்துகிறது. வெளியேற்றக் குழாயில் தீ அல்லது வெடிப்பு ஏற்படும் அபாயம் மிக அதிகம்.
அதிக (பைரோபோரிக் வாயுக்கள்)
N2-சுத்திகரிக்கப்பட்ட RTO நுழைவாயில்
வெடிக்கும் வரம்பிற்குக் கீழே சிலேன் செறிவுகளை நீர்த்துப்போகச் செய்ய RTO வின் மேல் பகுதியில் நைட்ரஜன்-சுத்திகரிக்கப்பட்ட இடையக தொட்டியை நாங்கள் செயல்படுத்தினோம். RTO அம்மோனியாவிற்கு 99.5% DRE ஐப் பராமரித்து, அதை NOx ஆக மாற்றியது, பின்னர் அது சிகிச்சைக்குப் பிந்தைய SCR (தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட வினையூக்கக் குறைப்பு) அமைப்பால் கைப்பற்றப்பட்டது.
குறைக்கடத்தி VOC நிர்வாகத்தில் புதுமையான போக்குகள்
தொழில் துறை எனர்ஜி-பிளஸ் ஆர்டிஓக்கள், கழிவு எரிவாயு சுத்திகரிப்பு வசதி உண்மையில் ஆலைக்கு நிகர ஆற்றல் ஏற்றுமதியாளராக மாறும் இடத்தில். RTO-க்களை இணைப்பதன் மூலம் உறிஞ்சுதல் குளிர்விப்பான்கள், நாம் வெளியேற்ற வெப்பத்தை சுத்தமான அறை குளிரூட்டலுக்காக குளிர்ந்த நீராக மாற்றலாம். கூடுதலாக, மேம்பாடு டிஜிட்டல் ட்வின் இந்த தொழில்நுட்பம் CMN Industry Inc. நிறுவனத்தை நிகழ்நேரத்தில் வெளியேற்றக் காட்சிகளை உருவகப்படுத்த அனுமதிக்கிறது, பர்னர் செயலிழப்புகள் ஏற்படுவதற்கு முன்பே அவற்றைத் தடுக்கிறது. இறுதி இலக்கு ஒரு வட்ட மின்னணு பொருளாதாரமாகும், அங்கு VOC சிகிச்சையானது ஆற்றல் உகப்பாக்கத்திற்கு ஒரு ஊக்கியாக செயல்படுகிறது.
